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    [技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-11-19
    摘要 @\W-=YKLg  
    i4&V+h"  
    扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 d;{k,rP6  
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    建模任务 E5Sn mxd  
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    仿真干涉条纹 + f:!9)C  
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    走进VirtualLab Fusion (B! DBnq  
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    VirtualLab Fusion中的工作流程 _CBMU'V  
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    •设置输入场 YGRb|P-  
    −基本光源模型[教程视频] }c>vk  
    •使用导入的数据自定义表面轮廓 %P:|B:\<  
    •定义元件的位置和方向 P!!O~P  
    − LPD II：位置和方向[教程视频] \C4wWh-A  
    •正确设置通道以进行非序列追迹 ^)C#  
    −非序列追迹的通道设置[用例] G2-0r.f  
    •使用参数运行检查影响/变化 ngI+afo   
    −参数运行文档的使用[用例] y9w,Su2  
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    6~x a^3G:  
    ef/43+F^x  
    VirtualLab Fusion技术 *B9xL[}  
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