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摘要 hi30|^l-
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<X!@ %fyah}= 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例，在非序列场追迹技术的帮助下，于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 ]8qFxJ+2^
u#l@:p 建模任务 ~X`_ g/5X
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 9"H]zfW pUz;e#J| 由于组件倾斜引起的干涉条纹 jxU z-U-
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 9y~5@/3 2R s r&hQ 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 BSGC.>$s J A K+v
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