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摘要 M`=\ijUwN -;
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*<{hLf K",Xe> 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 * >NML]#0 (IHR {m 建模任务 :SMf
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?a,`{1m0\ F2(^OFh 由于组件倾斜引起的干涉条纹 $LU|wW 1"<{_&d1
y^X]q[-? RcR-sbR 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 g[ @Q iy ;u';$0
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