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摘要 E4HG`_cWb =JOupw
I^[R]Js TWQf2 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 Z%N{Y x( c|:H/Y2n| 建模任务 <!Nj2> `T{{wty
>VE,/?71@ PGP9-M 由于组件倾斜引起的干涉条纹 j S')!Wcu 3:YZC9
vXR-#MS`} 3 {\b/NL$ 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 ?Re@`f+* 1G=1FGvP
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