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摘要 buHJB*?9 Y8t8!{ytg
es0hm2HT3 Ab;.5O$y 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 )0k53-h& )D%~`,#pQ 建模任务 J]r^W)O I)HPO,7
j![\& z z\4.Gm- 由于组件倾斜引起的干涉条纹 7_[L o4_ }Ou}+^Bc
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