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摘要 RZ?jJm$ gnf8l?M
se2!N:|R!G fCn^=8KOZ 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 GT., !x=~g"d<& 建模任务 z]y.W`i wo{gG?B
mfn,Gjt3O ^$jb7HMObI 由于组件倾斜引起的干涉条纹 WM$
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T@B/xAq5! Zd%k*BC 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 K:[F%e oG?Xk%7&\
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