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摘要 |=xK-;qs Q\!0V@$
ME9jN{ le ]jkaOj 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 9=-d/y? 4a]$4LQV 建模任务 [|:kS Lwy9QZL
XSw!_d nc0!ag 由于组件倾斜引起的干涉条纹 jRhOo%p 0Ud.u
(FwWyt ['G@`e*\ 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 P:p@Iep O6P{+xj$
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