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摘要 giTlXz3D9
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-L[K1;Xv" Bj2rA.M 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 b,'./{c0 6Q`ce!~$ 建模任务 U` U/|@6 & #|vGhA
t
_W |` )uaB^L1 由于组件倾斜引起的干涉条纹 "Vh(%N`6 T>z@;5C
Y~C S2%j ~}5(J,1! 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 =SdWU}xn2 LgaJp_d>9*
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