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摘要 .'.#bH9K 2K0HN
uQIa"u7 (,z0V+! 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 z~i=\/~tZ -!zyit5B 建模任务 -HutEbkjx $iu{u|VSu
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4-E@>% )4q0(O)d 由于组件倾斜引起的干涉条纹 5Arx"=c vN'Y);$
>G(M& aZ"9)RJe 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 MhaN+N _1TSt%L
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