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摘要 7Fo^:" j13-?fQ& 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 0<`qz |_h H I|a88
y{mt *VA4 ,byc!P 建模任务 k(H]ILL d {U%q
d yP$esDP 光栅特性与参数的严格分析 e5bXgmyil 8X`DFeJ 不同光栅周期下的衍射效率 6Z#Nh@!+C 4utwcXL
n`Pl:L*kG 85&7WAco"B 关于光栅周期选择的考虑 ?+hEs =Xs Jp"29
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p)B/(% [ x{$f7CEh 偏振相关的衍射特性 i.6 b% MS""-zn<
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B`eK_'7t ,4"N7_!7 通过参数优化进行光栅设计 2EM6k|l5 A;rk4)lij 固定周期的2D参数优化 I=&i &6v8G IWv5UmjN
^)]U5+g? 2D参数优化–设计1 ?QffSSj[s 7#j.yf4
QD%xmP hA 5p'a+K 2D参数优化–设计2 X9?)P5h= k vZ w4Pk
P.Bwfa ,TWlg 制造公差分析–设计2 NL:-3W7vf <Mvniz
P0>2}/;o (^iF)z 变化光栅周期的3D参数优化 ep"{{S5g \VhG'd3k
P x Q] $w 8'@5X-nD 制造公差分析 AmIW$(Ce fWJpy#/^*K
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3 orZBT sDNWB_~ VirtualLab Fusion中的工作流程 $i+@vbU6 M *w{PjU
g(i6Uj~) zB0*KgAn{ •构造光栅结构 ?l%4
P5 −通过使用界面来配置光栅结构 iw MxTty [用例] &G_#=t& •分析光栅衍射效率 A{;"e^a-^l −光栅级次分析器[用例] yq|yGf(4& •使用参数运行搜索初始解决方案 V5$Gb6?K −参数运行文档的使用[用例] 'dBe,@ •通过参数优化找到最终设计 kiJ=C2'& ;SI (5rS? VirtualLab Fusion技术 Nzgi)xX0HX >ymn&_zlT
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