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摘要 E#N|wq YGCL2Y 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 {[?(9u7R n]o<S+z
-4{<=y?"a \n|EM@=eE 建模任务 5uj?#)N JYbL?N ou{2@" 光栅特性与参数的严格分析 E92KP?i K^<BW(s 不同光栅周期下的衍射效率 N~zdWnSZ@G }*pi<s
9N3o-= Uf;^%*P4 关于光栅周期选择的考虑 K:#I fN1-d&T
|[aiJR[Q VY=jc~c]v 偏振相关的衍射特性 OU
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gu.}M:u scz&h#0V 通过参数优化进行光栅设计 9w"4K. <
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6HWE~`ok6 2D参数优化–设计1 lE(HFal0-( xHLlMn4M
ShP^A"Do ~H<6gN<j(. 2D参数优化–设计2 czgO ;3-C 9`X\6s
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o&)8o5 <7Or{:Sc90 制造公差分析 $2M$?4S/T +`3)o PV)
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4ber!rJM G+"t/?/ •构造光栅结构 N&+x+;Kx −通过使用界面来配置光栅结构 yT"Eq"7/Y# [用例] ;oKZ!ND •分析光栅衍射效率 /}fHt^2H −光栅级次分析器[用例] v,{
:Ez(H •使用参数运行搜索初始解决方案 r|fL&dtr −参数运行文档的使用[用例] GxI!{oi2 •通过参数优化找到最终设计 l\!fj# 0oZ=
yh VirtualLab Fusion技术 lH x^D;m6 $m{:C;UH
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