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摘要 T3N"CUk *Zbuq8> 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 OBOwz4< _xrwu;o0}
\+nGOvM 8SC%O\, 建模任务 "A3dvr j6g@tx^)' \9:wfLF8! 光栅特性与参数的严格分析 ,gx)w^WTm PaO-J&< 不同光栅周期下的衍射效率 9V
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L}%dCe x,8<tSW)Z 关于光栅周期选择的考虑 S%mfs!E> ?+2b(2&MXE
Ne6}oQy(S` !EBY@ Y1 偏振相关的衍射特性 +K~NV?c |/`%3'4H
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3VO2,PCZ Z8O n%Mx{" VirtualLab Fusion中的工作流程 NpP')m!`} yay<GP?
k?B[>aQn.0 A7_4.VH •构造光栅结构 g|X ;ahTT −通过使用界面来配置光栅结构 1{x.xi"A/ [用例] /phX'xp •分析光栅衍射效率 0|4%4Mt −光栅级次分析器[用例] rqPo)AL •使用参数运行搜索初始解决方案 sic"pn],U −参数运行文档的使用[用例] xM >W2 •通过参数优化找到最终设计 o G*5f z;tI D~Y VirtualLab Fusion技术 XN=67f$Hw "p&Y^]
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