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摘要 @n7t?9Bx -!J2x 8Ri 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 I( ]BMMj
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 L6:W'u^ dh^+l;!L 建模任务 [IX*sr v<;: 0  k7^R,.c@ 光栅特性与参数的严格分析
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~->Hlxze'K 关于光栅周期选择的考虑 5-D`<\
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 8x9Rm "3SWO3-x VirtualLab Fusion中的工作流程 )R~aA#<>
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 5:UyUB I:i<>kG •构造光栅结构 i2*d+?Er
−通过使用界面来配置光栅结构 %nWe,_Pj D
[用例] [ (|^O>k8c
•分析光栅衍射效率 JkU1daTe
−光栅级次分析器[用例] vI Vr@1S
•使用参数运行搜索初始解决方案 nd:E9:
−参数运行文档的使用[用例] MAnp{
•通过参数优化找到最终设计 G+VD8] !K1 < W*xshn VirtualLab Fusion技术 +dw!:P & ^;r+W -MQ
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