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摘要 ~.AUy%$_g+ G-Z_pGer^ 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 W$N_GR'4 DyG3|5s1R
y ']>J+b0 G?e,Q$ 建模任务 :^3MN Vfp{7I$#6" }k
duN0 光栅特性与参数的严格分析 =]\,I' @= 6}w_ 不同光栅周期下的衍射效率 c>!>D7:7 KI-E=<zt
%#02Z%?% ;yY>SaQ 关于光栅周期选择的考虑 f'aUo|^? `HgT5}
joAR;J {08UBnR 偏振相关的衍射特性 B~lrd#qC Bca\grA
f<uLbJ6 zbx,qctYo$
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{_ww1'|A 8 ]dhNA5 通过参数优化进行光栅设计 *@dRL3c^= 3kdTteyy+ 固定周期的2D参数优化 |
3!a= '+Gt+Gq+
4NQS'*%D 2D参数优化–设计1 X/];*='Q jWiB_8-6
JQ%e' WA8Qt\Q 2D参数优化–设计2 k^p|H: "\vEi
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`{N0+n C"<l} 制造公差分析–设计2 SBAq,F' rV"<1y:g
`w@fxv G! zV=p 变化光栅周期的3D参数优化 2!-ZNd:(+ c*1t<OAS~
W~POS'1 :v* _Ay 制造公差分析 giyKEnP tcwE.>5O
fR~_5pt7 {uL<$;#i 走进VirtualLab Fusion 6;l{9cRgc <o3e0JCq
{Rc/Ten ?M;2H{KG: VirtualLab Fusion中的工作流程 AVOzx00U f%an<>j^w
bkceR>h% 8,a&i:C •构造光栅结构 S3MMyS8 −通过使用界面来配置光栅结构 xA`Q4"[I [用例] Ib*l{cxN •分析光栅衍射效率 bDeHU$ −光栅级次分析器[用例]
zKx?cEpE •使用参数运行搜索初始解决方案 U!XC-RA3
_ −参数运行文档的使用[用例] Ss@\'K3e •通过参数优化找到最终设计 IwZn%>1N ']ya_ v~e VirtualLab Fusion技术 Zuo7MR V);{o>%.K
ZK27^oG
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