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摘要 vA1Yya B go uU 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 s{Z)<n03
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 }'$PYAf6 ZD]1C ~) 建模任务 EO&Q MEiP&=gX!  li r=0oq< 光栅特性与参数的严格分析 ^Co$X+
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SFm& 关于光栅周期选择的考虑 4I$Y(E}
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 ~zqb{o^ pT ysW})#7X 偏振相关的衍射特性 dZU #lg
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 *WwM"NFHDd mMAN* }`O VirtualLab Fusion中的工作流程 ov6xa*'a
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 &N~Eu-@b 5S~ H[>A" •构造光栅结构 #[+# bw_6
−通过使用界面来配置光栅结构 3_(_yEKx
[用例] g6GkA.!X$
•分析光栅衍射效率 :gVUk\)
−光栅级次分析器[用例] cU1o$NRx
•使用参数运行搜索初始解决方案 W__ArV2Z_
−参数运行文档的使用[用例] G Ec6;uz<
•通过参数优化找到最终设计 @- U\!Tf ] ; w 2YR VirtualLab Fusion技术 {)[o*+9 v=U<exM6%
 AZj&;!}
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