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摘要 vA1YyaB go uU 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 s{Z)<n03 5 8bW
}'$PYAf6 ZD]1C~) 建模任务 EO&Q MEiP&=gX! lir=0oq< 光栅特性与参数的严格分析 ^Co$X+
vwU1}H 不同光栅周期下的衍射效率 9{toPED TN2Ln?[xU
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SFm& 关于光栅周期选择的考虑 4I$Y(E} L=r*bq
~zqb{o^pT ysW})#7X 偏振相关的衍射特性 dZU#lg
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ANM#Kx+ 1@F-t94I 通过参数优化进行光栅设计 -K64J5|b7 2r,
c{Ah@D 固定周期的2D参数优化 pM?;QG;jA r
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T8XrmR&?PX ;tjOEmIiU 变化光栅周期的3D参数优化 ^4dE8Ve"@ :<QknU}dwy
(Xd8'-G$m 2c `m= 制造公差分析 X?5{2ulrI Ar`+x5
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*WwM"NFHDd mMAN*}`O VirtualLab Fusion中的工作流程 ov6xa*'a y>I2}P
&N~Eu-@b 5S~ H[>A" •构造光栅结构 #[+# bw_6 −通过使用界面来配置光栅结构 3_(_yEKx [用例] g6GkA.!X$ •分析光栅衍射效率 :gVUk\) −光栅级次分析器[用例] cU1o$NRx •使用参数运行搜索初始解决方案 W__ArV2Z_ −参数运行文档的使用[用例] GEc6;uz< •通过参数优化找到最终设计 @- U\!Tf ]; w 2YR VirtualLab Fusion技术 {)[o*+9 v=U<exM6%
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