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摘要 I]J*BD#n.
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&Z q 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 Lg`Jp&Kg EkKnUD
22KI]$D#f a%J6f$A# 建模任务 PG)_L.7rJ vh>{_
# C@HD(..# 光栅特性与参数的严格分析 HrqF![_ 8!h'j 不同光栅周期下的衍射效率 MdhT!? ^,2c-
?9u4a_x 0%)5.=6 关于光栅周期选择的考虑 ]s|lxqP CYB=Uq,
`:-J+<` >e8JK*Blz 偏振相关的衍射特性 s5Fr)q// ! voRfjsS~
T }uE0Z, n'64;J5
(@ea|Fd#4 J/4y|8T/y
Plz-7fy33 5&4F,v[zp 通过参数优化进行光栅设计 #cEq_[yI .~dEUt/|) 固定周期的2D参数优化 u2`xC4>c 5(}H
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}g,X5v?W 2D参数优化–设计1 T~Y g5J y-`I) w%
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p\txlT !5;t#4= 制造公差分析–设计2 tvWH04T rr>~WjZ3
712=rUI%! "<dN9l> 变化光栅周期的3D参数优化 `03<0L 4 ROWz
Q}uG/HI x9*ys;~w 制造公差分析 Hz4uZ*7\| ip5u_Xj?
x[m'FsR4 .xv^G?GG 走进VirtualLab Fusion dt.-C_MO S1>Z6
<<BQYU)Ig )%|r>{ VirtualLab Fusion中的工作流程 n^Au*' pFH?/D/q
V9$-twhu )9pBu
B •构造光栅结构 5fxbA2\ −通过使用界面来配置光栅结构 ?xHtn2(q [用例] )O-sWh4 •分析光栅衍射效率 & ^!v*=z −光栅级次分析器[用例] XkoW L •使用参数运行搜索初始解决方案 n1`T#%e −参数运行文档的使用[用例] gx&7 3f<J •通过参数优化找到最终设计 W,'3D~g8 /kb$p8!C". VirtualLab Fusion技术 K#U{<pUP =[8d@d\
B$EK_@M
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