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摘要 iU:cW=W|M\ 8RHUeRX 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 yIE!j %u
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 ]I6 J7A[ .jK4?}] 建模任务 ?&u u[y 8 xMX  5`_SN 74 o 光栅特性与参数的严格分析 2 ? 4!K. #p{ 4^ 不同光栅周期下的衍射效率 HE\ K@3- WfRXP^a
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O33 `+UV"W 关于光栅周期选择的考虑 4I(Xy]wm
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 Kf-JcBsrT $Z> 'Jp 偏振相关的衍射特性 3r1*m
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 OB }Ib] EEL,^3KR 通过参数优化进行光栅设计 m) D|l1AtF wS3'?PRX 固定周期的2D参数优化 D3 K8F@d 3= ;<$+I6
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fM& •构造光栅结构 h2J
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−通过使用界面来配置光栅结构 JOBhx)E
[用例] 18:%~>.!
•分析光栅衍射效率 ?=pT7M
−光栅级次分析器[用例] +m,yA mEEd
•使用参数运行搜索初始解决方案 )@bQu~Y
−参数运行文档的使用[用例] ;i +#fQO7Q
•通过参数优化找到最终设计 FJ?IUy 6 'H <\x VirtualLab Fusion技术 8, >P 0#^v{DC
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