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摘要 v\fzO#vj q$MHCq; 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 g/OI|1a >lA7*nn
nHI(V-E2:H kjx> 建模任务 k!Vn4?B"k hX0RET D8k*0ei& 光栅特性与参数的严格分析 Vn)%C_-]A d>YmKTk" 不同光栅周期下的衍射效率 q|n97.vD ])N|[ |$
M]J[6EW d-hbvLn 关于光栅周期选择的考虑 |)^clkuGX HMF8;,<_w?
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A 偏振相关的衍射特性 Mx^y>\X)v vkd *ER^
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[O(m/ a%v>eXc •构造光栅结构 v_.HGGS −通过使用界面来配置光栅结构 e#1.T [用例] w;~>k%}j •分析光栅衍射效率 @'
d6iYk_ −光栅级次分析器[用例] 7H4L-J3 •使用参数运行搜索初始解决方案 pp<E))&R −参数运行文档的使用[用例] s"q=2i •通过参数优化找到最终设计 Z/gsCYS3F G?R_aPP VirtualLab Fusion技术 &f"T,4Oh
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