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摘要 Io1j%T#ZT @-
STo/ 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ^#HaH >fH0>W+!
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5 %S`&R5 建模任务 {A/r) 566!T_ |ia5Mr"t 光栅特性与参数的严格分析 a!9'yc xB
*b7-a 不同光栅周期下的衍射效率 VJ~D.ec J~m$7T3Af
2n:<F9^" 3iCe5VF 关于光栅周期选择的考虑 D&G6^ME Vu:ZG*^
CS7b3p!I *;fTiL 偏振相关的衍射特性 sbW+vc r#sg5aS7O|
^kKLi ;@wa\H[3v2
WH:dcU 0D(8-H
rNP;53FtZl ;6G]~}>o 通过参数优化进行光栅设计 e~]P _53 f%]@e9dD 固定周期的2D参数优化 ZISIW! \ND]x]5d
UPhO=G 2D参数优化–设计1 ~H}Z;n]H 9@*pC@I)
f2WVg;Z [V'c 2D参数优化–设计2 ^E70$yB^ yKML{N1D
1)X|?ZD]F G\sx'#Whc 制造公差分析–设计2 qs]W2{-4~ imM!Me 0TE
ht-'O"d: xWxHi6U( 变化光栅周期的3D参数优化 opfnIkCe 56Wh<i3
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v;(cJ,l 制造公差分析 V%R]jbHZ# /@`"&@W'
lQIg0G/3 7P$*qj~Vh 走进VirtualLab Fusion o,i_py F 'uqL+jVO
6()Jx% (Y~/9a4X VirtualLab Fusion中的工作流程 #wyceEa =oSD)z1c?x
&* VhtT?=5 L1kn="5 •构造光栅结构 g2f"tu_/% −通过使用界面来配置光栅结构 CEj_{uf| [用例] ;6V~yB •分析光栅衍射效率 ui?@:= −光栅级次分析器[用例] }9ulHiR •使用参数运行搜索初始解决方案 !!.@F;]W −参数运行文档的使用[用例] \; XJ$~> •通过参数优化找到最终设计 c44s@E ! Vl)aL VirtualLab Fusion技术 iZ]^JPU} t ]BG)]
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