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摘要 '91".c,3? EQ<RDhC@b 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 bAwl:l\`
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 {9LWUCpsf IQH[Q9 % 建模任务 #VVr"*7$ ][;G=oCT  }{[mrG 光栅特性与参数的严格分析 !>z:m!MlQ ve 6w<3D@ 不同光栅周期下的衍射效率 I?Aj.{{$G% Ts$@s^S]
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"xJ 0 vlw 关于光栅周期选择的考虑 s{bdl[7
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 .r*2| H":oNpfb •构造光栅结构 2eMTxwt*S
−通过使用界面来配置光栅结构 J:V?EE,\-
[用例] >/|q:b^2r
•分析光栅衍射效率 x.S3Zi}=
−光栅级次分析器[用例] N-lkYL-%\j
•使用参数运行搜索初始解决方案 ]U"94S U:)
−参数运行文档的使用[用例] '],J$ge
•通过参数优化找到最终设计 wI(M^8F_Mf 2}8v(%s p VirtualLab Fusion技术 dAuJXGo Jv^h\~*jH
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