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摘要 y[!4M+jj .W+ F<] r 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 7l})`>
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 d4 P0f'.z IJn r^S8 建模任务 s!E-+Gw ].2it{gF?b  =w.#j-jR 光栅特性与参数的严格分析 m&Mv b[ ] 41G!'E= 不同光栅周期下的衍射效率 V8xv@G{;
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:;XHA8 关于光栅周期选择的考虑 NB&u^8b
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 1Lj YV H \3CvFm 偏振相关的衍射特性 ~QsQ7SAs 'Sc3~lm(dH
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通过参数优化进行光栅设计 S @ 7A) ZH%[wQ~4 固定周期的2D参数优化 7q|(ZZa
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Te> 7I 2D参数优化–设计1 kx1-.~)p(z
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 jq["z<V )x /:e|B;P`k 2D参数优化–设计2 5Tp n`2F
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 <UQ:1W8>B $vy.BY Fm 变化光栅周期的3D参数优化
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 z4-AOTo2y H[,.nH_>+ 走进VirtualLab Fusion 4kg9R^0
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E EmY4>lr VirtualLab Fusion中的工作流程 RFK
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 {.,OPR"\ dIO\ lL
•构造光栅结构 5I j_$a
−通过使用界面来配置光栅结构 Op%^dwVG(v
[用例] :{66WSa@Dd
•分析光栅衍射效率 j9u-C/Q\r
−光栅级次分析器[用例] K.z}%a
•使用参数运行搜索初始解决方案 e-}PJ%!,T
−参数运行文档的使用[用例] \R-u+ci$ZY
•通过参数优化找到最终设计 7OWiG, ,XA; S5FE VirtualLab Fusion技术 e#'`I^8l cE*|8'rSf
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