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摘要 "s` #` ' {aop Gu?i 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 .~^A!t
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G\<Zf 建模任务
7( o:J *N6sxFs  (Bpn9}F-V. 光栅特性与参数的严格分析 mWLi XKnb g]?>6 %#rA 不同光栅周期下的衍射效率 k@>(sXs l Yj$ 3
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4 关于光栅周期选择的考虑 oXVx9dZ
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 /:C<{m.[} Z dT- •构造光栅结构 gz Dfx&.0
−通过使用界面来配置光栅结构 j=u)
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[用例] xg'xuz$U
•分析光栅衍射效率 IJ7wUZp"
−光栅级次分析器[用例] ZT<VDcP{
•使用参数运行搜索初始解决方案 1%";|
−参数运行文档的使用[用例] \9R=fA1 8
•通过参数优化找到最终设计 _C,9c7K4 l,UOP[j VirtualLab Fusion技术 4)p ID ` R}D[ z7
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