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摘要 j8|g!>Nv -(`OcGM'L 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 g}laG8 DC1'Kyk
t9&cE:n zkTp`>9R 建模任务 7&KT0a* /h v4x9 KXV[OF&J 光栅特性与参数的严格分析 Ca%g_B0t %Pksv} 不同光栅周期下的衍射效率 i"|$(2 0-LpqX
7?B.0>$3>V @&D?e:|!U 关于光栅周期选择的考虑 i,13b
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bI 偏振相关的衍射特性 !*2%"H* LZ@|9!KDw
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JQ:Ri IVr 2y8K 通过参数优化进行光栅设计 lTU$0CG SWp1|.=Sm 固定周期的2D参数优化 ++L?+^h 0A{/B/r
B2Xn?i3 l 2D参数优化–设计1 syip; ; Ll MpS<2NO
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_LwOOZj Q-#$Aa 制造公差分析–设计2 A]L%dFK iCP/P%
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%p&k5:4<"# {brMqE>P# 制造公差分析 VL[)[~^ H A}f,),G
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[P|[vWO Lp5U"6y VirtualLab Fusion中的工作流程 "uLjIIl Ax oD8|
H"2uxhdLK3 2cu#lMq •构造光栅结构 8+mH:O −通过使用界面来配置光栅结构
s95vK7I [用例] ]4+s$rG •分析光栅衍射效率 fAZiC+ −光栅级次分析器[用例] UN"(5a8. •使用参数运行搜索初始解决方案 7^}Ll@ −参数运行文档的使用[用例] Z%Z9oJ: •通过参数优化找到最终设计 zF4 [}* cNzt%MjP VirtualLab Fusion技术 0'&X
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