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摘要 /^b=| +Do <%=@Ue 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 |1UJKJwX T@j@IEGH
PZhpp" q[TW 建模任务 WxS$yUu
;"+]bne~ >?ckBU9 光栅特性与参数的严格分析 ?#VkzT )k&!& 不同光栅周期下的衍射效率 "U
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e18}`<tW- FWuk@t[<O 关于光栅周期选择的考虑 )X5en=[)O E(0 [/N~
T<~?7-O" a'YK1QX 偏振相关的衍射特性 xkmqf7w 8% `Jf`
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8?&!@3n #H&`wMZZ: 通过参数优化进行光栅设计 LABLT;c dS~#Lzm 固定周期的2D参数优化 v>p}f"$` #mH4\s
Z)RV6@( 2D参数优化–设计1 k+y>xI, d(;Qe}ok>
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_U`1BmTC2 FAF+ } 制造公差分析–设计2 bs\7 juHt ,|Lf6k
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tU, >EbwO GN@(!V#/4 走进VirtualLab Fusion ~t.M!vk ahqsbNu1
@/0-`Y@? <hM`]/J55 VirtualLab Fusion中的工作流程 6qkMB|@Ix LSW1,}/B
[{cMEV& &kNJs{ •构造光栅结构 j3)fmlA −通过使用界面来配置光栅结构 \1cJ?/$_Of [用例] R[_UbN 28 •分析光栅衍射效率 pZO`18z −光栅级次分析器[用例] ;PF!=8dW •使用参数运行搜索初始解决方案 dsD!)$ −参数运行文档的使用[用例] oJbMUEQQq •通过参数优化找到最终设计 ,]qTJ`J *:hHlH* t1 VirtualLab Fusion技术 6[l{@*r" !;~6nYY
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