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摘要 D&]SPhX v4 c_UFEh< 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 mT)iN`$Y@ D+k5e=
G8<,\mg+ T"dEa-O 建模任务
ft$/-; ^(a %B j[c|np4k\ 光栅特性与参数的严格分析 NB>fr#pb 7
bpV= 不同光栅周期下的衍射效率 M#2DI?S@ 3g} ]nj:N
CM~)\prks DMf:u`< 关于光栅周期选择的考虑 /<M08ze PCD1I98
fpzC# N|8TE7- F| 偏振相关的衍射特性 :,:r Z.rKV}yjY
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72Ft?;R ^TnBtIU-B 通过参数优化进行光栅设计 DmPp& 5H>[@_u+: 固定周期的2D参数优化 ULAAY$o@5 Rl -Sr
`|Tr"xavf 2D参数优化–设计1 -Vw,9VCF CYs:P8^
\u2p] K> V[Auw3) 2D参数优化–设计2 vBKBMnSd mmEr2\L
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"7B9B 8|OsVIe% •构造光栅结构 ^ [uA^ −通过使用界面来配置光栅结构 O4S~JE3o [用例] kW3V"twx •分析光栅衍射效率 d.3-@^P −光栅级次分析器[用例] I|@%|sTW •使用参数运行搜索初始解决方案 k$j>_U? P −参数运行文档的使用[用例] YJ3aJ^m#E •通过参数优化找到最终设计 @GK0j"_ pMe'fC~* VirtualLab Fusion技术 "FwbhD0Gb R6r'[-B2
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