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摘要 Ay5i+)MD 'B 43_ 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ktFhc3);!
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 [<g?WPCcC c#Sa]n 建模任务 .!$*:4ok gcPTLh[^Er  LcSX *MC 光栅特性与参数的严格分析 zQ@I}K
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(e!0]Io@ 关于光栅周期选择的考虑 4cabP}gBk
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 L R.Hh U=Dms nD, VirtualLab Fusion中的工作流程 C8[&S&<_<
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 9xO#tu] i@P)a'W_ •构造光栅结构 qfL~Wp2E;
−通过使用界面来配置光栅结构 SSz~YR^}Sr
[用例] eqP&8^HP
•分析光栅衍射效率 GNXHM*~
−光栅级次分析器[用例] @ zs'Y8
•使用参数运行搜索初始解决方案 /2UH=Q!x4E
−参数运行文档的使用[用例] OTGofd2zf
•通过参数优化找到最终设计 DF1I[b=] bSfpbo4( VirtualLab Fusion技术 9:ze{ c $ BGOuDKz9C
 UUzYbuS>&l
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