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摘要 _-/x;C b~j~ 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 d5:tSO ?I\v0H*
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x3 l~['[Ub0) 建模任务 \e|U9;Mf kxh 5}eB VJg,~lQN#t 光栅特性与参数的严格分析 6|^0_6_ EI\v 不同光栅周期下的衍射效率 XIRR Al(, -E]Sk&4Gj
{y b D Pcdf$a"` 关于光栅周期选择的考虑 0I
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+2Ql~w@$^l 61Bhm:O5W 偏振相关的衍射特性 [sj VRW- )v1CC..
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Fu%X 4uUs7T 通过参数优化进行光栅设计 f05=Mc&) Y208b?=9w 固定周期的2D参数优化 J$QBI&D Vho0eV=
q^*6C[G B 2D参数优化–设计1 'gDe3@ci! %b=p< h'(
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8QF2^*RZ7z Q0~j$Jc 变化光栅周期的3D参数优化 2]2H++ >zmzK{A=
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?4G(N=/& ,J(lJ,c 走进VirtualLab Fusion xo Gb k)":v3^
:c7CiP }+0z,s~0. VirtualLab Fusion中的工作流程 6peyh_ QU/3X 1W
eOnTW4 =& -[TPW •构造光栅结构 mW4%2fD[ −通过使用界面来配置光栅结构 t3b@P4c\ [用例] `FJ|W6% •分析光栅衍射效率 *eUc.MX6x −光栅级次分析器[用例] VT=K"`EpQ •使用参数运行搜索初始解决方案 fg&eoI'f −参数运行文档的使用[用例] -(IC~ •通过参数优化找到最终设计 =g~j=v,e D.*>;5:0' VirtualLab Fusion技术 Ld(NhB'7 %0XvJF)s
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