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摘要 {= F /C,- J/[=p<I) 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 'H
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r[Hu40p 建模任务 rEv$+pP "4uS3h2r  qzf! l"bT 光栅特性与参数的严格分析 |j#C| V%kV f!!V${)X 不同光栅周期下的衍射效率 2vAQ ?TU }~}
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Vit 关于光栅周期选择的考虑 f"qg a/
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 QlO0qbG[ y }j*KcB_ 偏振相关的衍射特性 QA5Qwe L A-T]9f9
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 IHJ=i- 1@QZnF5 [ 通过参数优化进行光栅设计 <;#~l* 0},PJ$8x 固定周期的2D参数优化 pXJpK@z SRrw0&ts
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v75O7l LAd\ Tvms 制造公差分析–设计2 ZE2$I^DY-
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'+$EhFwD 变化光栅周期的3D参数优化 l)!n/x_ !
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 Mi/ &f )tl.s)"N 制造公差分析 ,:Lb7bFv>
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 OU/MiyP2 qeL5D* 走进VirtualLab Fusion
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m"o ;L3
 pb$~b\s]= #1c_ev H VirtualLab Fusion中的工作流程 uwjGDw
zJ)*Z,7
 {6~l$ 69J4=5lX •构造光栅结构 OnK~3j
−通过使用界面来配置光栅结构 #@"<:!?z
[用例] /yZQ\ {=
•分析光栅衍射效率 JXu$ew>q
−光栅级次分析器[用例] US%^#D q
•使用参数运行搜索初始解决方案 -*m+(7G\
−参数运行文档的使用[用例] rwG CUo6Z
•通过参数优化找到最终设计 w*|7!iM Wh%ucX& VirtualLab Fusion技术 e{v=MxO= S '*k'i;2/1
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