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摘要 #_(jS+lP?k
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薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 }C#;fp" L
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B =@ jW z" VirtualLab Fusion一瞥 3w!c`;c%
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VirtualLab Fusion工作流程 atW' _6Eu2|vM& fbkd "7u
• 设置光栅结构 wM _
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−使用界面配置光栅结构[用户案例] tL+OCLF;
• 分析光栅衍射效率 %,iIpYx
−光栅阶次分析器[用户案例] 5c;h &
• 通过参数运行检查不同参数的影响 (? *BB3b`
− 利用参数运行文档[用户案例] 0iZGPe~
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 U5] pi +r _7D _72 VirtualLab Fusion技术 2nFy` |aA%
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