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摘要 g}og@UY7# $=g.-F%*= 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 SIBIh- L -0J<R;cVs
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VS@W.0/ 3/|{>7]1 正弦光栅—效率与高度(TEA) d~bH!P ^A$XXH'
X%\6V;zR# d.(]V2X.J 正弦光栅—透射相位曲线 >U
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52R.L9Ai +q?0A^C> 正弦光栅—衍射效率 ^WYG?/{4 v@1Jhns
^|12~d_.T 4)Wzj4qW 正弦光栅—效率与周期 XlcDF|?{. l8Iy03H
+A3\Hj&W T1W9@9,s 正弦光栅—特定周期下的相位曲线 F"? *@L *ww(5 t
D7'0o`| 48*pKbbM4 闪耀光栅—效率与高度(TEA) 'Bn_'w~j{ ED_5V@
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e~[z]GLO% mP+yjRw 闪耀光栅—衍射效率 5Kxk9{\8 siZ_JJW
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Gf.o{ ITPpT VirtualLab Fusion一瞥 <T[ui p arG
``CADiM:S >5W"a?( VirtualLab Fusion工作流程 YQsc(6 Y\S^DJy q9]L!V9Rv • 设置光栅结构 5!p'n#_ −使用界面配置光栅结构[用户案例] ZO$T/GE6% • 分析光栅衍射效率 |.W;vc < −光栅阶次分析器[用户案例] ,1+_k ="Z • 通过参数运行检查不同参数的影响 glIIJ5d|, − 利用参数运行文档[用户案例] (ZsR=:9( ^PpFI
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