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摘要 P{ 9wJ<
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薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 .dVV#
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 CdC Y#$Z GHLnwym VirtualLab Fusion工作流程 7b-[# g tC$+;_=+F >
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• 设置光栅结构 >YXb"g@.
−使用界面配置光栅结构[用户案例] ow
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• 分析光栅衍射效率 z;@<J8I
−光栅阶次分析器[用户案例] >wb*kyO7(#
• 通过参数运行检查不同参数的影响 yB *aG
− 利用参数运行文档[用户案例] pX3E l$p
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 Zn. S65J*u WdC7C K VirtualLab Fusion技术 s2QgR37s>
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