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摘要 .g6PrhzFbk lpM>}0v 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 2b6? 9FX* \Owful
%a)0?U vF*^xhh 建模任务 .IW_DM- l|R<F;|
fD3jwPL fg>B 正弦光栅—效率与高度(TEA) pmow[e |Ak =-.
=Do3#Xe2V !I~C\$^U 正弦光栅—透射相位曲线 %2rHvF= L|C1C
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p0F9O 正弦光栅—透射相位曲线 uu
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QoT3;<r} `wn<3# 正弦光栅—衍射效率 A}t&- bo~{<UT
>m2<Nl} )JY_eG&2Dx 正弦光栅—效率与周期 q{9X.-]} sT[av
JA SR [G'!`^V, 正弦光栅—特定周期下的相位曲线 .%J?T5D (giTp@Tp
YvxMA# &k_wqV 闪耀光栅—效率与高度(TEA) iXG>j.w{79 #pDGaqeX
7q2"b?|h H.l,%x&K 闪耀光栅—透射相位曲线 kYI(<oTY~ aCYm$6LmA
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t6h`WAZV Tk v 闪耀光栅—效率与周期 o
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OnPy8mC QS=$#Gp VirtualLab Fusion一瞥 VM\Z<}C PgG |7='
LD~uI _iboTcUF VirtualLab Fusion工作流程 NW4
s'roP SX?$H~A &TkbnDuYd~ • 设置光栅结构 Mly z>< −使用界面配置光栅结构[用户案例] {DXZ}7w:v • 分析光栅衍射效率 B[0,\> −光栅阶次分析器[用户案例] [P&,}o)+E0 • 通过参数运行检查不同参数的影响 i[t=@^| − 利用参数运行文档[用户案例] J!
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PRk%C0` *liPJ29C[ VirtualLab Fusion技术 !^w\$cw& +}-W.H%` 0
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