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摘要 NkYU3[m$v l99{ eD 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 LE>b_gQ$
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}[%d=NY n$S`NNO{] VirtualLab Fusion工作流程 Q|+g= |%^ !R/-|Kjy FYtf<C+ • 设置光栅结构 _a e&@s1 −使用界面配置光栅结构[用户案例] 3{;W!/&> • 分析光栅衍射效率 7KzMa%= −光栅阶次分析器[用户案例] \h&ui]V • 通过参数运行检查不同参数的影响 %j*i= − 利用参数运行文档[用户案例] ,*w AvNU\$B4aG
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