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摘要 4 zf(
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薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 r7 *'s
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• 设置光栅结构 3G)Wmmh"a
−使用界面配置光栅结构[用户案例] KZ ;Q7 1
• 分析光栅衍射效率 ^+20e3 ~Y
−光栅阶次分析器[用户案例] Q]d3a+dK
• 通过参数运行检查不同参数的影响 L+o"<LV]
− 利用参数运行文档[用户案例] t^zmv PDK
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