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摘要 qp-/S^% wn'_;0fg 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 gJNp]I2R vG'JMzAm
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QD0upYG Z6}B}5@y 正弦光栅—效率与高度(TEA) [~;#]az (mvAEN+y
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m8Q6ESg<*u dkuB{C, 正弦光栅—透射相位曲线 vjI>TIy
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nn@"68]g T!uK_ 正弦光栅—衍射效率 bJD2c\qoc &p1Et
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[X.sCl| mnM#NT5] 闪耀光栅—效率与高度(TEA) }d2]QD#O 3u7^*$S
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r RS G\3( VirtualLab Fusion一瞥 }tT"vCu 2E^zQ>;01
m/sAYF" _"%ef"oPh VirtualLab Fusion工作流程 6;U]l. oJw~g[ F.mS,W] • 设置光栅结构 5An|#^] −使用界面配置光栅结构[用户案例] Q>u$tLX& • 分析光栅衍射效率 s`ly#+!. −光栅阶次分析器[用户案例] Sc;WraEn2 • 通过参数运行检查不同参数的影响 2-i>ymoOS − 利用参数运行文档[用户案例] s.]7c
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`6qT3v VirtualLab Fusion技术 [>+(zlK" |D%i3@P&ZR
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