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摘要 & 2q<#b
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薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 8?: 2<
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6-)WXJ@V VirtualLab Fusion一瞥 Wi>m}^}9
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 Md~._@`|K *F Zav2]- VirtualLab Fusion工作流程 M6^
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• 设置光栅结构 -38"S;M8
−使用界面配置光栅结构[用户案例] ;Oqf{em];
• 分析光栅衍射效率 P3Lsfi.
−光栅阶次分析器[用户案例] x a< KF
• 通过参数运行检查不同参数的影响 c _M[>#`
− 利用参数运行文档[用户案例] Hs:zfvD
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 x|dP-E41\ (FaYagD VirtualLab Fusion技术 4Y2I'~'
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