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摘要 g"gh2#!D
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薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 Q|/uL`_ni
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 Omy4Rkj8bh QH%Zbt2qS 正弦光栅—特定周期下的相位曲线 oL?(;
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oCoFj 闪耀光栅—效率与高度（TEA）
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mmk]Doy?# VirtualLab Fusion一瞥 J6 x#c`Y
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 5~(.:R X:q Cj~45)r VirtualLab Fusion工作流程 \QF \Bh $Pa7B]A,Ae ;8WgbR)ZLU
• 设置光栅结构 :1 %z;
−使用界面配置光栅结构[用户案例] $*)??uU
• 分析光栅衍射效率 Y|ON Cc
−光栅阶次分析器[用户案例] cd8ZZ 8L
• 通过参数运行检查不同参数的影响 JTT"t@__
− 利用参数运行文档[用户案例] cSdkhRAn
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 +uR|0Jo8X uP,{yna( VirtualLab Fusion技术 J vi"K
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