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摘要 ^vilgg~ ,#?uJTLH 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 0tg8~H3yy &0zT I?c
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T#>7ub P#AW\d^"B VirtualLab Fusion一瞥 i>(e}<i
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D-c`FG' i-6Z"b{ VirtualLab Fusion工作流程 qT+%;( z*-2.}&U< b9!FC$^J • 设置光栅结构 6fw(T.Pe −使用界面配置光栅结构[用户案例] NX}<*b/ • 分析光栅衍射效率 <~WsD)=$ −光栅阶次分析器[用户案例] {E@Lft- • 通过参数运行检查不同参数的影响 #"B\UN − 利用参数运行文档[用户案例] fZoHf\B]{ &G-!qxe
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