1.OptiLayer 软件包括三个模块,它们共用一个数据 库,能够轻松的实现数据交换: Fi``l)Tt
• OptiLayer:设计,评估,预生产误差分析, 生产过程监控及实现计算制造; TIGtX]`
• OptiChar:基于分光光度计及椭偏仪检测数 据,分析膜层光学特性; )]@h}K}
• OptiRE:基于检测数据,对已镀制膜层反演 分析计算。 vT?^#
2.OptiLayer 采用了最新的软件设计理念,其独树一帜的核心算法具有极高的专业水准: x;~:p;]J2F
• OptiLayer 可在计算机上流畅的运行; ;1(^H:7T
• OptiLayer 具有良好的用户界面,易于使用; %,\JTN|g|A
• 程序安装简便,安装过程只需数分钟; 9xR5Jm>k
• OptiLayer 带有上下文关联的帮助系统以及高阶用户手册; &jJu=6 U
B
• 安装包含有一系列设计实例,它能够快速的让用户掌握 OptiLayer 的设计理念; "D'e
• 安装包包含基底及膜层材料目录。 c!IZLaVAr9
OptiLayer 计算制造选项能够评估预期的生产率,并且揭示了哪些膜层对成功的生产比较关键,需要严格控制。 `nF SJlr&
在计算制造试验过程中,可以仿真那些由于沉积工艺造成的典型误差因素。这些因素包括: "# *W#ohVA
• 不稳定的沉积速率, /h>g-zb
• 在膜层沉积收尾阶段产生的随机和系统误差(闸门延迟) 3^/w`(-{@
• 膜层在沉积仓内的折射率和理论值的偏差 <K0epED
• 与波长相关的折射率偏差 _[HZ[ 9c!
• 沉积层的不均匀性
KQr+VQdq>
• 在线测量的噪声影响 Z|t=t"6"
• 监控信号的实时波动, \V-N~_-H
• 监控设备的校准偏差。 O,r;-t4vYU
需要可联系交流。 `;85Mo:qJ
3"x_Y
gkr9+