1.OptiLayer 软件包括三个模块,它们共用一个数据 库,能够轻松的实现数据交换: pY =?r{@
• OptiLayer:设计,评估,预生产误差分析, 生产过程监控及实现计算制造; ?RWd"JTGue
• OptiChar:基于分光光度计及椭偏仪检测数 据,分析膜层光学特性; 1:YDN.*
• OptiRE:基于检测数据,对已镀制膜层反演 分析计算。 U
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2.OptiLayer 采用了最新的软件设计理念,其独树一帜的核心算法具有极高的专业水准: Z+t?ah00
• OptiLayer 可在计算机上流畅的运行; 4)Pt]#Ti
• OptiLayer 具有良好的用户界面,易于使用; q(.%f3(
• 程序安装简便,安装过程只需数分钟; 58e{WC
• OptiLayer 带有上下文关联的帮助系统以及高阶用户手册; w?M*n<)
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• 安装包含有一系列设计实例,它能够快速的让用户掌握 OptiLayer 的设计理念; =q
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• 安装包包含基底及膜层材料目录。 ' 1P_*
OptiLayer 计算制造选项能够评估预期的生产率,并且揭示了哪些膜层对成功的生产比较关键,需要严格控制。 QH\*l~;B\
在计算制造试验过程中,可以仿真那些由于沉积工艺造成的典型误差因素。这些因素包括: fbuop&FN+q
• 不稳定的沉积速率, .v1rrH?
• 在膜层沉积收尾阶段产生的随机和系统误差(闸门延迟) vo71T<K
• 膜层在沉积仓内的折射率和理论值的偏差 p6=#LwL'
• 与波长相关的折射率偏差 5jNBt>.0
• 沉积层的不均匀性 w5n>hz_5
• 在线测量的噪声影响 "6KOql3
• 监控信号的实时波动, /u:Sn=SPd
• 监控设备的校准偏差。 ^"buF\3L
需要可联系交流。 HwST^\Ao
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