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摘要 dL"$YU9z s#sr1[9}G 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 (mHFyEG B\bIMjXV
D@H'8C\ 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) DSix(bs9 6YT*=\KT 建模任务 #'z\[^vp Qwx}e\=
%@(6,^3%i {rOz[E9vm 单次FMM仿真结果 \@4QG.3& $ i@5'[jA
e*vSGT$KgL Dbyy H_ 参数扫描(1D) u7`<m.\ D8W:mAGEu
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