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摘要 cQUmcK/, hC8'6h 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 ;^FV C(_xqn
c X553& 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) F,`y_71< I"9S 建模任务 Zcv1%hI 9[B*CD|
8fJ- XFK$: =8fp4#]7 单次FMM仿真结果 ,?7URx* [>4Ou^=1
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