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摘要 3B!&ow<rt
T U"K#V&u 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中，可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定结构在不同配置下的性能。 a"v"n$
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 Nqo#sBS 傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA） .N-'; %8
E.7AbHph0 建模任务 <3],C) Zwc
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 Egjk^:@ 7gZVg@ 单次FMM仿真结果 . ,d$%lN
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 VOo wA^ xVh\GU855 参数扫描（1D） n]6}yJJo
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 aPY>fy^8D clR?< LO 参数扫描（2D） `a/PI c" kMJQeo79  !~w6"%2+7
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