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摘要 pTWg
m\h OkpwhkPL5 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 -0$:|p?@^ Gzw@w{JBL
Pp+~Cir 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) \PbvN\L bDDqaO ,8 建模任务 y}N&/}M:}8 Q&xjF@I
Pt)S;6j Ry z?v<)h 单次FMM仿真结果 f^p^Y
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