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摘要 c`)\Pb/O B9 _X;c 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 EgEa1l!NSQ ;DQ ZT
g\|PcoLm 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) N@4w!
HpJ w?PkO p 建模任务 J/`<!$<c L]|gZ&^
Xz6<lLb #Qw0&kM7I 单次FMM仿真结果 {S]}.7`l9( @(w@e\Bq
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vQG5*pR*w Uk wP 参数扫描(2D) 3@_xBz,I . eI}aQ]$ED 5+0gR
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