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摘要 d9TTAaf J Y8Rk= 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 =
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}1 qQ7}v 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) >uYQt~s nsi?.c&0! 建模任务 m\jjj^f a ZXb{-b?[`
7=?!B#hm! D^%IFwU^ 单次FMM仿真结果 M("sekL ~Oq
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