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摘要 bLgH3[{ D6sw"V# 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 vJkc/7 7|P
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woYD &Oml 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) u2V-V#jS pm&THd 建模任务 {|+Y;V` z*y!Ml1
5jdZC(q5a ^4y]7p 单次FMM仿真结果 8sG3<$Z^ [uq>b|`RG
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