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摘要 jdN`mosJ @WhHUd4s 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 ,6/V"kqIP qK+5NF|
b>W%t 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) km(Po} x;S @bY 建模任务 )BE1Q*=
n (:_$5&i7
965jtn b>|6t~}M 单次FMM仿真结果 D9df=lv
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wY#E?, txpgO1 参数扫描(1D) #spCtZE }C:r9?T
sK{e*[I>W dM5-; 参数扫描(2D) \m,PA'nd/ XSDpRo _#niyW+?~
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