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摘要 1 ,o C:N 4hztYOhJ{ 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 c6s*u%+}, Ly\$?3h
m?xzx^xs/ 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) BnqAv xX {$>*~.Wu 建模任务 aZ2liR\QE whoz^n3N E
'/SMqmi #O^H?3Q3 单次FMM仿真结果 $} l0Nh'Eu 3j0/&ON
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