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摘要 hAr[atu87 EKd3$(^ 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 #G+ k?/ v y9
Eh@T W%9* 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) bjPbl2K )*K<;WIWH 建模任务 dHq )vs,L NVc!g
dXcPWbrU4 ]]=-AuV. 单次FMM仿真结果 n*m"L|:ff {pe7]P?
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RZ|HwYG C^,4`OI 参数扫描(2D) nGv23R(?G c{,y{2c]LT XewXTd#x
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