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摘要 n*%o!= w8MQA!=l 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 cJb.@8^J w5j6RQml
Vz=ByyC 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) _8*}S= Z0o+&3a6 建模任务 wUUDq?!k\ <5Ft3sd
=+I~K'2 z"cF\F 单次FMM仿真结果 (~C_zG f?KHp|
6??o(ziK$ l/=2P_8+Z 参数扫描(1D) T{9pNf- q?R)9E$h
cJ CKxj w$ zX.;s 参数扫描(2D) h6Femis u\L=nCtLby zDEX `~c
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