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摘要 +%&yJ4 -
"z c l|@ 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中，可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定结构在不同配置下的性能。 (ZGbh MK
g\U-VZ6;p
 JVJMgim)0 傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA） >Q/Dk7 #
ebq4g387X 建模任务 } #J/fa9
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 N;d] 14| cR{#V1Z 单次FMM仿真结果 =vPj%oLp'a
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 %)|s1B'd yX5\gO6G 参数扫描（1D） B[}6-2<>?C
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