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摘要 buu~#m 1z
fucG 9B 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中，可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定结构在不同配置下的性能。 KLrxlD4\
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 pX `BDYg. 傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA） SvLI%>B=9
Btp 9v<" 建模任务 Nr8#/H2f
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 b"DaLwK kz :c)N"EJlI2 单次FMM仿真结果 XEl -5-M"
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 fP# !ywgr% LX2rg\a+% 参数扫描（1D） F!( Vg
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 6}4?, r 3 }~.#`QeY 参数扫描（2D） N@6+DHt wyJ+~  pY]T3 2
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