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摘要 [_g#x(= IgzCh 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 n4ds;N3Hd bqZ?uvc3
jw`&Np2Q 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) adRNrt*! b9W<1eqF 建模任务 oyKt({ q;1VF;<"vH
cc2d/<: M^|"be~{' 单次FMM仿真结果 USnD7I/b 8>% jZ%`a
z/eU^2V beN>5coP%A 参数扫描(1D) 7$q2v=tH_ R`I8Ud4=
E]HND.`*> h 7(H%(^_ 参数扫描(2D) bWX[<rh' o+if%3 g6[/F-3Qlf
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