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摘要 ~@4'HMQ q; jiw#_ 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 U#
JIs c</1
;%Hf)F 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) >cN~U3 *7$P] 建模任务 tX%`#hb?s P0Z!?`e=M
_S@aGw @=Fi7M 单次FMM仿真结果 U@F)2? MYLsHIPC
$uj(G7_ 6l\FIah@ 参数扫描(1D) bb-q O#E 8K"+,s(%R
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参数扫描(2D) #1.YKo +iO/m T=Z.TG|lIx
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