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摘要 .,,73" FRW.
可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 1d"P) 3dQ Id0F2 [
yiq#p"Hs 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) U{Z>y?V/ yN.D(ZwF: 建模任务
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5dk,!Cjg UK,P?_e 单次FMM仿真结果 4@I]PG v#FUD-Z
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