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摘要 ;%AY#b4m E0A[{UA 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 vQ5rhRG)E M VE:JNm
2 I.Q-'@ 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) `j6O %u?A>$Jn 建模任务 CT.hBz
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P!R`b9_U
/p|L.&`U 单次FMM仿真结果 UJ)(Sw Z%{`j!!p
:dlG:=.W I_`$$-| 参数扫描(1D) _:XX+3W7 $3Sm?
9 b&HqkXX aqP"Y9l 参数扫描(2D) (]"`>,ray 1mv8[^pF +W|VCz
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