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摘要 +x(~!33[G )Vf!U" 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 AY x*Ngn e0z(l/UB
1Qk]?R/DN 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) 23p1Lb9P WcHL:38 建模任务 *,FU*zi tv 7"4$T
eHl)/=' /?Y]wY 单次FMM仿真结果 p6c&vEsNj [X"pOz
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