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摘要
4n6t(/]b< 2"IDz01ne 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 Hb3t|<z <HH\VG\H6
e5#?@}? 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) P71] Z TW-^C;
建模任务 KpC!C9 @ |D#lBm
aY0{v X r7-H`%. 单次FMM仿真结果 H @5dj} VWrb`p@
W#kd[Wi `PZcL2~E 参数扫描(1D) u4|)A4n <FfmDR
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