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摘要 r,73C/*&/ iy.p n 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 y&$A+peJ1 :1QI8%L'$i
~d.Y&b 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) {3mRq"e X]TG<r 建模任务 *aM=Z+ hR?{3d#x2
jp%S3) PJ|P1O36a 单次FMM仿真结果 T4Uev*A lgL%u K)
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