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    [技术]用于光学检测的斐索干涉仪 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-10-29
    摘要 $%%>n ^??  
    @Du}   
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    kad;Wa#h  
    斐索干涉仪是工业上常用的一种光学测量仪器，常用于高精度的光学表面质量检测。利用VirtualLab Fusion的非序列追迹技术，我们建立了斐索干涉仪，并将其用于测试不同的光学表面，如柱面和球面，可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。 $jed{N7Y  
    z2Y_L8u2  
    建模任务 + lB+|yJ+  
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    RD$tc~@UB  
    观测倾斜平面 wvmg)4,  
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    观测柱面 {p e7]P?  
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    观测球面 Ku/H=  
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    走进VirtualLab Fusion 9]L!.  
    14r Vb2^  
     hD$p;LF  
    bwSRJFqb  
    VirtualLab Fusion的工作流程 B)"#/@!bHH  
     设置输入场 WS1&3mOd  
    - 基本光源模型 [教学视频] 5]H))}9>d  
     使用表面构造真实元件 sWsG,v_  
    (~G5t(+  
     定义元件的位置和方向 2E3?0DL",  
    - LPD II：位置和方向 [教学视频] rwL=R,  
     为非序列场追迹设置合适的通道 G9i&#)nWr  
    - 非序列场追迹的频道设置 [用例] I mPu}  
    hJ;f1dZ7}  
     :kb1}Wu  
    ^Y{6;FJ  
    VirtualLab Fusion技术 (ET ;LH3  
    <+T\F;   
     >[|GC/C  
    8tLT'2+H#  
     
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