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    [技术]用于光学检测的斐索干涉仪 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-10-29
    摘要 R 1\]Y  
    NIGFu{S  
     )oCF| 2qc  
    x-EAu 3=V  
    斐索干涉仪是工业上常用的一种光学测量仪器，常用于高精度的光学表面质量检测。利用VirtualLab Fusion的非序列追迹技术，我们建立了斐索干涉仪，并将其用于测试不同的光学表面，如柱面和球面，可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。 'McVaPav  
    hy rJu{p  
    建模任务 q2Dg~et  
    ZGBcy}U(k  
     n%hnL$!z  
    f+RDvgkKU  
    观测倾斜平面 6y5~Kh6  
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     GQQ6 t  
    2I5@zm ea  
    观测柱面 }r[BME  
    ny0`~bl{p  
     $$w 1%#F =  
    >U]. k8a)  
    观测球面 e78}  
    x3 <Lx^;  
     j(hC't-  
    T/nRc_I+^B  
    走进VirtualLab Fusion  +yk>jx  
    mE1*F'0a  
     '>8N'*  
    -`JY] H  
    VirtualLab Fusion的工作流程 Smo'&x  
     设置输入场 Yp$lc^)c>  
    - 基本光源模型 [教学视频] o>h>#!e  
     使用表面构造真实元件 0&|-wduR=  
    XooAL0w  
     定义元件的位置和方向 G9TUU.T  
    - LPD II：位置和方向 [教学视频] >jm9x1+C  
     为非序列场追迹设置合适的通道 n$8A"'.M  
    - 非序列场追迹的频道设置 [用例] w67Pw  
    y[# U/2  
     %$Uw]a  
    G4~J+5m k  
    VirtualLab Fusion技术 ^B7Aam  
    idQr^{  
     aE}u5L$#  
    i@6 kI C  
     
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