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    [技术]用于光学检测的斐索干涉仪 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2025-10-29
    摘要 zn ?;>Bl  
    T"H )g  
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    ]jb4Z  
    斐索干涉仪是工业上常用的一种光学测量仪器，常用于高精度的光学表面质量检测。利用VirtualLab Fusion的非序列追迹技术，我们建立了斐索干涉仪，并将其用于测试不同的光学表面，如柱面和球面，可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。 ~8m>DSs)D  
    J4}\V$ysN  
    建模任务 '^l^gW/|\  
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    观测倾斜平面 kN j3!u$  
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    观测柱面 @5jG  
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     -?nT mzRc  
    ING_:XpnJ  
    观测球面 5; PXF  
    WQ}!]$<"y  
     FMd LkyK;  
    3Y{)(%I  
    走进VirtualLab Fusion T#n1@FgC  
    8M|)ojH  
     cN WcNMm  
    6#)Jl  
    VirtualLab Fusion的工作流程 MpA;cw]cI/  
     设置输入场 uUz`=4%A  
    - 基本光源模型 [教学视频] Nr24[e G>d  
     使用表面构造真实元件 T]6c9_  
    [9O~$! <%  
     定义元件的位置和方向 }utNZhJ  
    - LPD II：位置和方向 [教学视频] VL7S7pb_  
     为非序列场追迹设置合适的通道 *?bk?*?s  
    - 非序列场追迹的频道设置 [用例] 6"i{P  
    Q*:h/Lhb&  
     tw/#ENo  
    5eOj, [?  
    VirtualLab Fusion技术 h ??C4z  
    V[Rrst0yo  
     |[ Ie.&)  
    *NW QmC~  
     
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