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    [技术]用于光学检测的斐索干涉仪 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-10-29
    摘要 >p@v'h/Cr  
    c:sk1I,d~^  
    @6:J$B~)u  
    FW--|X]8   
    斐索干涉仪是工业上常用的一种光学测量仪器,常用于高精度的光学表面质量检测。利用VirtualLab Fusion的非序列追迹技术,我们建立了斐索干涉仪,并将其用于测试不同的光学表面,如柱面和球面,可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。 v* /}s :a  
    k&SI -jxj  
    建模任务 p}O[A`  
    >'96SE3  
    xRPU GGv  
    `u7"s'  
    观测倾斜平面 a>XlkkX  
    qJf=f3  
    "fX9bh^  
    (n3MbVi3LU  
    观测柱面 No G`J$D  
    52>,JHq  
    z9 )I@P"  
    |B/A)(c yV  
    观测球面 I-?Dil3  
    &S|%>C{P.w  
    EAi!"NJ  
    Eggdj+  
    走进VirtualLab Fusion s`Z'5J;S  
    22gk1'~dO  
    ^jxV  
    {3{cU#\QA  
    VirtualLab Fusion的工作流程 8#&axg?a  
     设置输入场 [[sfuJD  
    - 基本光源模型 [教学视频] 6 (@U+`  
     使用表面构造真实元件 rfVHPMD0  
    ;Q&|-`NK  
     定义元件的位置和方向 ~xSAR;8  
    - LPD II:位置和方向 [教学视频] H6I]GcZ$  
     为非序列场追迹设置合适的通道 S_ Pa .  
    - 非序列场追迹的频道设置 [用例] )lsR8Hi8  
    gZLzE*NZ  
    |JD"iP:  
    1>"[b8a/  
    VirtualLab Fusion技术 sWc_,[b  
    d|RqS`h ]  
    eumpNF%$  
    Xi~%,~  
     
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