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摘要 15yIPv+5 7IK<9i4O 与传统光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形纳米柱构成,并且在VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的衍射效率。 并且,我们展示了如何使用参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。 `}zv17wp te6[^_k ]XPGlM #H!~:Xu 设计任务 /2FX"I[0V% ykM#EyN
4T^M@+&| @lTUag'U0 仅位相透射设计(IFTA) 7y[B[$P +D
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V ?_%Y<|L Q@$1!9m 超表面晶胞分析 b%oma{I=.c c'G\AbUVjE
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K[ \z'9Q kqyMrZ# VirtualLab Fusion的工作流程 Wt`D 分析超表面晶胞 lp9<j1Wl - 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例] v4v+;[a% 构造超光栅 S 5d{dTPq 分析光栅衍射效率 )T4L^^` - 光栅级次分析 [用例] #E ~FF@a 光栅结构参数优化 %bimcRX#W 0)/214^&
)F~_KD)7jJ gRFC n6Q VirtualLab Fusion技术 Ym6ec|9; H 0h hD,-!R
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