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摘要 yZup4#>8 b&:>v9U 与传统光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形纳米柱构成,并且在VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的衍射效率。 并且,我们展示了如何使用参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。 VwfeaDJw H/8H`9S$ KT1/PWa ; MU8@?yN 设计任务 *`~
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h - 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例] N=Q<mj;, 构造超光栅 GnAG'.t-Z 分析光栅衍射效率 %:yp>nm - 光栅级次分析 [用例] 4:umD*d 3E 光栅结构参数优化 N, `q1B WBb@\|V|
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