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摘要 +LddW0h+=8 bSH lR#!6 与传统光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形纳米柱构成,并且在VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的衍射效率。 并且,我们展示了如何使用参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。 jRIjFn|~{Y <<F#Al k1;,eB Zur7"OkQ 设计任务 mtDRF'>P: N{Og; roGD
9D74/3b* !M:m(6E1 仅位相透射设计(IFTA) B@!a@0,,_ _i [.5
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(2vR8 仅位相透射设计(IFTA) E:BEQ:(~L '>FJk`iI
4/D~H+k {#M=gDhbX 超表面晶胞分析 y@g{:/cmO $IUP;
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