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摘要 20cEE> 2B"&WKk 与传统光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形纳米柱构成,并且在VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的衍射效率。 并且,我们展示了如何使用参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。 DT vCx6:! Fx )BMP tr|)+~x3 I`;SA~5 设计任务 y~^-I5!_ u odW K\e
58P[EMhL n}/4em? 仅位相透射设计(IFTA) IR|#]en o>\o=%D.a
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u6SQq-)d u(i=-PN_< 超表面晶胞分析 (D0\uld9 1$H<Kjsm
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|Q-S 构造超光栅 ;cB3D3fR. 分析光栅衍射效率 sNM ]bei - 光栅级次分析 [用例] `aTw!QBfG 光栅结构参数优化 x#gZC1$Y =#=}|Q}
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