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摘要 ]v j=M-:+ u~FXO[b 与传统光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形纳米柱构成,并且在VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的衍射效率。 并且,我们展示了如何使用参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。 5m{!Rrb 6!7LgM%4 1Y!"C @9~a3k| 设计任务 .^j 6 ]ZKmf}A)1P
r Z5vey ~H!s{$.5 仅位相透射设计(IFTA) g]?&qF} 3;(;'5|Z
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