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摘要 i,S%:0c7) s>"=6 gb 与传统光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形纳米柱构成,并且在VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的衍射效率。 并且,我们展示了如何使用参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。 4G@vO{$ <=cj) "(/|[7D) ,^,Vq]$3 设计任务 L1Fn;nR 2ADUJ
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eOD;@4lR E[nW B"pxE 超表面晶胞分析 @p|[7' Q2^}NQO=
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8\. # 2p@Rr7 走进VirtualLab iIcO_ZyA /r[0Dw
sUfH1w)0 &UbNp8h VirtualLab Fusion的工作流程 twNZ^=S Gr 分析超表面晶胞 }n:'@} - 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例] l]T|QhiVd 构造超光栅 <z %zzc1s 分析光栅衍射效率 Q++lgVh)E - 光栅级次分析 [用例]
7I^(vQ 光栅结构参数优化 C%}FVO\c -7'>Rw
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