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摘要 _MQh<,Z8 )g&nI<Mh 与传统光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形纳米柱构成,并且在VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的衍射效率。 并且,我们展示了如何使用参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。 o|n+;h
}f{5-iwD} BD.l 5~: pxbuZ9w2Q 设计任务 #~rQ\A!4 ndBqXS
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P1m# v-F|#4Q=ut 仅位相透射设计(IFTA) 0ly6 |: `LwZ(M-hI
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:9: n68qxD-X 仅位相透射设计(IFTA) RXWdqaENx zEE:C|50
FD8 ncsk(`lo 超表面晶胞分析 *|+$7j uW(Ngcpr
NP.qh1{NP /byF:iYI 构建超光栅 4&L,QSJ V tnXW7ej ^
hR>`I0|p& aO:A pOAO 初始超表面设计的评估 tQMz1$ *MWI`=c
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1`> 分析光栅衍射效率 lb)i0`AN+ - 光栅级次分析 [用例] @^Kw\s 光栅结构参数优化 ,v*\2oG3^ (>om.FM
oFu( J \D! I"mr VirtualLab Fusion技术 i:^
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