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摘要 m)oJFF qgrg CJ 与传统光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形纳米柱构成,并且在VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的衍射效率。 并且,我们展示了如何使用参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。 -44l^}_u &4_qF^9J 3h<, {AQ=<RDRF 设计任务 c%qv9 aM;W$1h
Sf8{h|71 b".L_Ma1* 仅位相透射设计(IFTA) LW(6$hpPp b5^OQH{v
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3)RsLI9 '}9JCJ 超表面晶胞分析 h;0S%ZC KI+VXH}Y5{
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^k\e8F/ jkvgoxY 走进VirtualLab 0c#/hFn C7O6qpO
{+@bZ}57 fS`$'BQ VirtualLab Fusion的工作流程 +j4"!:N}B 分析超表面晶胞 .e3+s* - 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例] >&U,co$> 构造超光栅 \oZ5JoO 分析光栅衍射效率 J.|+ID+ - 光栅级次分析 [用例] `F>O; >i'' 光栅结构参数优化 +="e]Yh; ]i)j3WDz]
=*LS%WI 6!(@@^7{* VirtualLab Fusion技术 "T- `$'9 J:\|Nc? &EnuE0BD
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