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摘要 [*{G,=tF`Y ;XUiV$ 与传统光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形纳米柱构成,并且在VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的衍射效率。 并且,我们展示了如何使用参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。 4/_@ F>I_ 1I^uq>r MPS{MGVjbJ IN{ 1itE 设计任务 EKr#i}(x< rhr(uCp/
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Xv 分析超表面晶胞 zHT22o56X - 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例] ,[j'OyR 构造超光栅 J8>8@m6 分析光栅衍射效率 4?vTuZ/
M - 光栅级次分析 [用例] ]-7$wVQ< 光栅结构参数优化 7YLG<G!v)] 55<f
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