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摘要 4Fz^[L}[ \NSwoP 与传统光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形纳米柱构成,并且在VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的衍射效率。 并且,我们展示了如何使用参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。 t)v#y!Ci" ,~kMkBkl~ C<7J5 #Gg^fm 设计任务 2KzKNe( gM=~dBz
!nYAyjf CRx:3u!: 仅位相透射设计(IFTA) WW_X:N~~e\ N CsUC
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"vJADQ4F Aqc( 超表面晶胞分析 0-#ct1- Y}[r`}={
I2/wu(~> '1{~y3 构建超光栅 [n^___7 zZ wD)p?_g
vTP_vsdeG \:#b9t{B- 初始超表面设计的评估 Gmc"3L eQeNlCG
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参数优化 ~cez+VQe *%8us~w5/
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<)&ykcB h '}5"m 走进VirtualLab ywdNwNJ %NBD^gF
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( K0v,d~+] VirtualLab Fusion的工作流程 w_Ls.K5" 分析超表面晶胞 6`s[PKP. - 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例] ^aC[ZP: 构造超光栅 BkJcT 分析光栅衍射效率 -cW5v
- 光栅级次分析 [用例] AsLAm#zq 光栅结构参数优化 C$hsR& '=ZE*nGC
-g>27EI5 >i.+v[)# VirtualLab Fusion技术 6lhVwgy3A } 6KL h>n;A>k@N
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