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摘要 (qG |.a $iu{u|VSu 与传统光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形纳米柱构成,并且在VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的衍射效率。 并且,我们展示了如何使用参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。 }D02*s ~<!b}Hv wDJbax? r\-Mj\$- 设计任务 U{6i5;F#H )`<-
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96M?tTa eTi r-7 VirtualLab Fusion的工作流程 tu(k"'aJ 分析超表面晶胞 'uAH, .B - 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例] 57:Wh=x 构造超光栅 j(JUOief 分析光栅衍射效率 -?)` OHc^ - 光栅级次分析 [用例] h|z{ (v 光栅结构参数优化 &Z
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