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摘要 #}W^d^-5t5 Og`w ~!\ 与传统光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形纳米柱构成,并且在VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的衍射效率。 并且,我们展示了如何使用参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。 Q_F8u!qrZ z\8Kz ]n~ #yv_Eb02 IOsitMOX: 设计任务 Hinz6k6! -Ug
@4D$Xl G~I@'[ur 仅位相透射设计(IFTA) qqSf17sW Y\len
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