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摘要 F2QFQX(j gF#HNv 与传统光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形纳米柱构成,并且在VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的衍射效率。 并且,我们展示了如何使用参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。 I() =Ufs5z ^CO{86V ,)@njC?J -n FKP&P 设计任务 xy))}c% ^m~&2l\N=
4A"3C #9zpJ\E 仅位相透射设计(IFTA) WX6}@mS. EMQGP<[
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FA%_jM Mg#yl\v 走进VirtualLab #u}%r{T m9vX8;.
=Ox}WrU~ AbxhNNK VirtualLab Fusion的工作流程 gk6UV2nE? 分析超表面晶胞 ;z.L^V0 - 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例] 0j_kK 构造超光栅 P q$0ih 分析光栅衍射效率 dgL>7X=7 - 光栅级次分析 [用例] s$).Z(6 光栅结构参数优化 g5
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m>%b4M h);^4cU VirtualLab Fusion技术 ki?h7 y~fKLIoz" 4;fuS_(X
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