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摘要 P[?~KNS:/ UP 75}h9 与传统光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形纳米柱构成,并且在VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的衍射效率。 并且,我们展示了如何使用参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。 O:q 0- ke2'?,f ,X)0+DNsq 9L]x9lI; 设计任务 | ?~-k[| /
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CeNpJ p4\%*ovQt VirtualLab Fusion的工作流程 mR,p?[P 分析超表面晶胞 (d | - 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例] Ua#*kTF 构造超光栅 9 %4Pt=v~d 分析光栅衍射效率 a\$PqOB! - 光栅级次分析 [用例] iNZ'qMH22 光栅结构参数优化 ;_R;P;< H'-Fv!l?
!bFa\6]q /ZlW9| VirtualLab Fusion技术 c@1C| )#l &F$ {c<MB xk
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