切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 《杂散光抑制与评估技术》 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 光学设计与光学元件
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 现代光学设计及应用(Zemax) CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 539阅读
    • 0回复

    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    7172
    光币
    30001
    光券
    0
    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2025-10-20
    摘要 VjSA& R  
     Uc j>gc=  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 HmpV; <t3  
    "'c =(P  
     k= 9a/M u  
    Wp=:|J   
    建模任务 s`L>mRw`  
    =l$qwcfbo  
     !?m8UE  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) HTP~5J  
     j2:A@ a6  
    某一位置的Talbot图样 T) cbpkH4  
    84-7!< 6i  
     YifTC-Q;  
       m6 a @Y<  
    某一位置的Talbot图样 [u8JqX  
    /7b$C]@k  
     O:X|/g0Y  
    Il#9t?/  
    不同位置的Talbot图样 YwF\  
    _lG\_6oJ,  
     jF%l\$)/  
    7A>glZ/x  
    不同位置的Talbot图样 =A^VzIj(  
    tP/R9Ezp  
     YRP$tz+ _  
    @33-UP9o  
    沿Z轴的强度 PciiDh~/  
    C9 cQ} j:  
     B ? D|B  
    e@L7p,  
    走进VirtualLab Fusion 3Y=?~!,Jk  
    AY%Y,< a  
     i9y&<^<W  
    *mXs(u  
    VirtualLab Fusion的工作流程 \YsYOFc|  
    X6: c-  
     构建光栅结构 ' |K408i   
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] 4O3-PU>N  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] (:T\<  
    ?!kPW^gD  
     通过参数运行计算不同位置的强度 *.Ceb%W7C  
    - 参数运行文件的使用 [用例] 6}e"$Ee}9  
    b$'}IWNV  
    9!oNyqQ  
    NX:i]t  
    VirtualLab Fusion技术 q/yL={H?  
    '#0'_9}  
     )k|_ CW~  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表