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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2025-10-20
    摘要 %:qoV0DR  
     efuK  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 ,`8Y8  
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    sxED7,A  
    建模任务 ~mN% (w!^  
    zG c[Z3N  
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    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) 7=*VpX1  
     4rU! 4l  
    某一位置的Talbot图样 .#5l$['  
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     nD,{3B#  
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    某一位置的Talbot图样 .%0ne:5  
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    不同位置的Talbot图样 Z#Lx_*p]Q  
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    不同位置的Talbot图样 |Zq\GA  
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    沿Z轴的强度 8t .dPy<  
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    走进VirtualLab Fusion a`Z{ xme =  
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    VirtualLab Fusion的工作流程 ~r`Wr`]_z  
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     构建光栅结构 cINHH !v  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] '.p? 6k!K  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] WSI Xj5R  
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     通过参数运行计算不同位置的强度 nN ~GP"}  
    - 参数运行文件的使用 [用例] E5B8 Z?$a  
    & QY#3yj=  
    bx(w :]2  
    V8'`nuC+  
    VirtualLab Fusion技术 "r-l8r,  
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