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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2025-10-20
    摘要  Tvqq#;I  
     ;|}N\[fk%]  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。  Fku~'30  
    SR!EQ<  
     -d1 YG[1|  
    kVz9}Xp"  
    建模任务  :tBIo7  
    Q3[MzIk 4  
     Y3=5J\d!a  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) wI8  
     b 5<&hN4g  
    某一位置的Talbot图样 <`rmQ`(}s  
    CT1@J-np  
     1y'8bt~7Pf  
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    某一位置的Talbot图样 BbsgZ4  
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     VRU"2mQ.P6  
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    不同位置的Talbot图样 -:cBVu-m  
    )Q= EmZbJz  
     _/V <iv  
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    不同位置的Talbot图样 #N Qpr  
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    沿Z轴的强度 f#mNx  
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    走进VirtualLab Fusion ,+2!&"zD  
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    VirtualLab Fusion的工作流程 :m.6a4vx  
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     构建光栅结构 m.F}9HI%hN  
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    VirtualLab Fusion技术 u ,R R|/@  
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