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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2025-10-20
    摘要 'Eia=@  
     4Z{R36 {  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 3:sc%IDP  
    A Ef@o+A  
     HIj:?y  
    'YN:cr,V  
    建模任务 RigS1A\2l  
    ^|U5@u_  
     `K$;K8!1  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) * kL>9  
     k|]l2zlT  
    某一位置的Talbot图样 =RWY0|f  
    $y<`Jy]+)~  
     v7+|G'8M`  
       iRW5*-66f  
    某一位置的Talbot图样 [;toumv  
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     1-4[w *u>  
    v+C D{Tc  
    不同位置的Talbot图样 e \kR/<L  
    6QPbmO]z  
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    不同位置的Talbot图样 ]/R>nT  
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     @X/-p3729  
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    沿Z轴的强度 "VsS-b^P  
    k'[\r>T  
     G<*h,'B  
    )pey7-P7g5  
    走进VirtualLab Fusion 2NL|_W/  
    DEv,!8  
     3 }rx(  
    .R^]<b:`  
    VirtualLab Fusion的工作流程 >R/^[([;]  
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     构建光栅结构 .B$3y#TOb  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] =4x-x nA  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] =0U"07%}  
    jm |zn  
     通过参数运行计算不同位置的强度 y+VR D  
    - 参数运行文件的使用 [用例] ;Y &2G'  
    JAL"On#c#0  
    eR8>5:V_  
    stCFLYox  
    VirtualLab Fusion技术 lzZ=!dG  
    rmnnV[@o  
     N<lf,zGw  
     
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