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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2025-10-20
    摘要 ^JKV~+ Q  
     ]I|3v]6qR  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 :Y AxL J  
    XehpW}2\  
     vXio /m  
    )kq3q5*_  
    建模任务 %S2^i3  
    kCq]#e~wq  
     \8I>^4t'/  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) #DL( %=:  
     ##6_kcL:6G  
    某一位置的Talbot图样 Hvm+Tr2@  
    RnA>oKc  
     cP4K9:k  
       RuW62QSq  
    某一位置的Talbot图样 41d,<E  
    T vEN0RV2  
     m _0D^e7#  
    -\.'WZo`  
    不同位置的Talbot图样 XuQ7nlbnq  
    E27N1J+1  
     I^5T9}>Q  
    gD[Fkq$]  
    不同位置的Talbot图样 kg>Ymo.  
    '}`|QJ  
     }WN0L?h.E  
    Q}?yj,D D  
    沿Z轴的强度 =s2dD3Fr|  
    *mc]Oa  
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    走进VirtualLab Fusion k{fCU%  
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    !Cm<K*c"&E  
    VirtualLab Fusion的工作流程 FyZa1%Tv@  
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     构建光栅结构 kp4*|$]  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] 5aF03+ko  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] "%c\i-&t  
    e7{n=M  
     通过参数运行计算不同位置的强度 FBjIft5e  
    - 参数运行文件的使用 [用例] ]7QRelMiz+  
    )C @W_cfMN  
    Ek [V A\G  
    =:+k  
    VirtualLab Fusion技术 Xwg|fr+p  
    qsB,yckml  
     +F &,,s"&  
     
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