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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 10-20
    摘要 7L!k9"X`0F  
     )Z62xK2  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 OlP#|x*  
    O_E[F E:+  
     (qaY,>je]D  
    G  B15  
    建模任务 Z'\_YbB  
    N-^\e)ln  
     J~= =<?j:  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) 3h4>edM  
     `8L7pbS%,Q  
    某一位置的Talbot图样 Z@1rs#  
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     E]68IuP@'  
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    某一位置的Talbot图样 RJ0w3T]7  
    8^O|Aa$IF:  
     Ef#%4ky  
    uoF9&j5E@Z  
    不同位置的Talbot图样 .7oz  
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    不同位置的Talbot图样 I&4|T<j  
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     n:HF&j4C,  
    GQq2;%RrF  
    沿Z轴的强度 9kTU|py  
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    走进VirtualLab Fusion z[l17+v  
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     ^lf)9 `^U  
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    VirtualLab Fusion的工作流程 e)O6k7U$  
    lr=*Ty(V  
     构建光栅结构 DT;Hr4Z8^"  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] zcDVvP  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] {=pf#E=  
    *Z Aue.  
     通过参数运行计算不同位置的强度 D.X%wJ8  
    - 参数运行文件的使用 [用例] PbCXcs  
     R:-^,/1  
    dnH?@ K  
    t-e:f0iz  
    VirtualLab Fusion技术 flnoK%wi  
    RaKL KZn  
     [/6IEt3}B  
     
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