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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2025-10-20
    摘要 5taT5?n2  
     zue~ce73J  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 i6Emhji  
    n[Y~]  
     ZeaA%y67U  
    A*547=M/(j  
    建模任务 ;u46Z  
    %2V?,zY@  
     [j/9neaye  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) hy"\RW  
     9Y_HyOZ*GX  
    某一位置的Talbot图样 pYmk1!]/  
    :(*V?WI  
     )cMh0SGcM1  
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    某一位置的Talbot图样 dk4CpN  
    68C%B9.b'  
     Ig0VW)@  
    z/2//mM  
    不同位置的Talbot图样 q ,]L$  
    ra gXn  
     mLLDE;7|}  
    8\A#CQ5b  
    不同位置的Talbot图样 `Cynj+PCe  
    B !L{  
     !Pfr,a  
    L2i_X@/  
    沿Z轴的强度 SP_75BJ  
    F8,RXlGfA[  
     j[J-f@F \Y  
    #r~# I}U  
    走进VirtualLab Fusion (m(JK^  
     B Qxs~  
     Zaf:fsj>  
    .2Elr(&*h  
    VirtualLab Fusion的工作流程 ?ri?GmI|  
    ,CcV/K  
     构建光栅结构 9ZsVy  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] Q1I6$8:7  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] a:OQGhc=  
    U}rU~3N  
     通过参数运行计算不同位置的强度 qv KG-|j  
    - 参数运行文件的使用 [用例] CXx*_@}MU  
    SBk4_J/_  
    Z4w!p?Wqa  
    .glA gt  
    VirtualLab Fusion技术 )e=D(qd  
    u5b|#&-mX  
     Gd xnpE  
     
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