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摘要 ^JKV~+ Q ]I|3v]6qR 在传统的Talbot光刻中,在光敏层中仅使用一个图像,但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中,遵循I.-H. Lee等人的工作,通过傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像,柱状图位于主像面上,孔状图位于次像面上。 :YAxL J XehpW}2\
vXio /m )kq3q5*_ 建模任务 %S2^i3 kCq]#e~wq
\8 I>^4t'/ 结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) #DL( %=: ##6_kcL:6G 某一位置的Talbot图样 Hvm+Tr2@ RnA>oKc
cP4K9:k RuW62QSq 某一位置的Talbot图样 41d,<E TvEN0RV2
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-\.'WZo` 不同位置的Talbot图样 XuQ7nlbnq E27N1J+1
I^5T9}>Q gD[Fkq$] 不同位置的Talbot图样 kg>Ymo. '}`|QJ
}WN0L?h.E Q}?yj,DD 沿Z轴的强度 =s2dD3Fr| *mc]Oa
:uAW ]m#.MZe 走进VirtualLab Fusion k{fCU% ?D].Za^km
x<0-'EF/S !Cm<K*c"&E VirtualLab Fusion的工作流程 FyZa1%Tv@ h48JpZ" 构建光栅结构 kp4*|$] - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] 5aF03+ko - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] "%c\i-&t e7{n=M 通过参数运行计算不同位置的强度 FBjIft5e - 参数运行文件的使用 [用例] ]7QRelMiz+ )C
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