切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 光学系统设计：理论、仿真与系统检测 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) ZEMAX光学系统设计实战
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 光学设计与光学元件 CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 182阅读
    • 0回复

    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    在线infotek
    科学家
     
    发帖
    6535
    光币
    26824
    光券
    0
    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2025-10-20
    摘要 (u81p  
     k0{5)Su"xr  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 x4cP%{n  
    0xVue[ep  
     Z8P{Cr~U9  
    5!r?U  
    建模任务 ( w(GJ/g  
    a%"My;8  
     AF4:v<EN  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) uI7 d?s  
     XV+s 5 C  
    某一位置的Talbot图样 }g:y!p k  
    H/>86GG  
     $srb!&~_>  
       K.?~@5%  
    某一位置的Talbot图样 +(iM]L$Fw%  
    r5XG$:$8\  
     U+t|wK  
    ]Cpd`}'  
    不同位置的Talbot图样 "8wRx Dr+  
    -b "7WBl  
     G\S\Qe{P~  
    %  (R10G  
    不同位置的Talbot图样 |?n=~21"1O  
    >OVi{NyT  
     @.f@N;z  
    wt4uzg8  
    沿Z轴的强度 P g.PD,&U  
     H  
     &B\tcF  
    EOu\7;kE9  
    走进VirtualLab Fusion h V@C|*A  
    o0b}:`  
     [H5TtsQ[  
    sw{,l"]<  
    VirtualLab Fusion的工作流程 PDaHY  
    f?T6Ne'  
     构建光栅结构 w?6"`Mo  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] ,.tv#j|A  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] z5PFppSQ  
    uM,bO*/f  
     通过参数运行计算不同位置的强度 &K5wCNX1  
    - 参数运行文件的使用 [用例] jy`jxOoG~Z  
    w*`5b!+/  
    >VnkgY  
    AK\X{>$a!  
    VirtualLab Fusion技术 %pmowo~{  
    <Y9vc:S  
     )=TD}Xb  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表