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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 7小时前
    摘要 szU_,.\  
     A&($X)t  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 Y8%*S%yO  
    _16IP  
     |;(0]  
    CxJkT2  
    建模任务 tAH0o\1;  
    1JSKK.LuJV  
     .z&,d&E  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) cr<ty"3\  
     )0p7d:%mV  
    某一位置的Talbot图样 +JRPd.B"@  
    =hDFpb,mr  
     `%A>{A"  
       oBZzMTPe  
    某一位置的Talbot图样  Vq K/GWg  
    23~KzC  
     %SlF7$  
    xRPU GGv  
    不同位置的Talbot图样 v\b@;H`  
    ju{\7X5  
     \rY<DxtOq  
    .0f6b  
    不同位置的Talbot图样 |}^ BF%8V:  
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     a.!|A(zw  
    W2G@-`,  
    沿Z轴的强度 w*7BiZ{s<  
    BARs1^pR4  
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    走进VirtualLab Fusion NM:\T1  
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