切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 《杂散光抑制与评估技术》 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 光学设计与光学元件
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 现代光学设计及应用(Zemax) CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 537阅读
    • 0回复

    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    7172
    光币
    30001
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-10-20
    摘要 ~o/e0  
     L_YY,  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 WB|SXto%4D  
    }15ooe%  
     1QDAfRx  
    '"Dgov$q  
    建模任务 ,OO0*%  
    6n.C!,Zmn  
     I^y,@EHR  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) S$fCO$bU  
     852Bh'u_  
    某一位置的Talbot图样 G0$,H(]~  
    $30lNZK1m8  
     @7B!(Q  
       Si%K|$?@  
    某一位置的Talbot图样 I'RhA\`  
    9L xa?Y1  
     ~C],?X(zk  
    ?IV3"\5  
    不同位置的Talbot图样 !xh.S#B  
    faaFmEC  
     1=%\4\  
    [VwoZX:  
    不同位置的Talbot图样 fDY#&EO: %  
    z+B"RV  
     7L&=z$U@m  
    |Gh~Zu p  
    沿Z轴的强度 . B9rG~  
    as6YjE.Yy  
     k GzosUt  
    +3n07d  
    走进VirtualLab Fusion B?J #NFUb  
    x5}Ru0Z  
     u=h/l!lR  
    hpJi,4r.d  
    VirtualLab Fusion的工作流程 ;M"JN:J8  
    HGpj(U:`c  
     构建光栅结构  qTL]  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] MRdZ'  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] {` Lem  
    J0M7f]  
     通过参数运行计算不同位置的强度 1Lb+ &  
    - 参数运行文件的使用 [用例] vHPp$lql  
    H:BWv08~5  
    ^SKuX?f\  
    k%)QrRnB  
    VirtualLab Fusion技术 BK8)'9/  
    V '4sOn  
     C. Hr  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表