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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-10-20
    摘要 Xn ;AZu^'R  
     RG`1en  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 xkA K!uVy  
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    建模任务 e>7i_4(C  
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     k VQ\1!  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) Ga'swP=hf  
     :U x_qB  
    某一位置的Talbot图样 Af{"pzY  
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    某一位置的Talbot图样 lw5`p,`  
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    不同位置的Talbot图样 ;9g2?-svw  
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    不同位置的Talbot图样 m j@13$=  
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    沿Z轴的强度 7t_^8I%[  
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    sn>~O4"  
    走进VirtualLab Fusion Mb7I[5v  
    Y[S1$(K&*  
     S 6,.FYH  
    7J&4akT{9  
    VirtualLab Fusion的工作流程 u> / TE  
    jlg(drTo  
     构建光栅结构 2dgd~   
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] .3!1`L3  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] y18Y:)DkL  
    dnuu&Rv  
     通过参数运行计算不同位置的强度 W`*r>`krVJ  
    - 参数运行文件的使用 [用例] s&J]zb`  
    & "B=/-(  
    S`?!G&[!>  
    kz7(Z'pw  
    VirtualLab Fusion技术 gKCX|cULY  
    G9@0@2aY8  
     w)jISu;RG  
     
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