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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 10-20
    摘要 lNMJcl3  
     {KSy I#  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 g&\;62lV%  
    | Pqs)Mb]  
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    建模任务 .uB[zJc  
    ]dT]25V  
     RN$q,f[#  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) Hp@cBj_@P2  
     Ch]q:o4  
    某一位置的Talbot图样 Uv(}x 7e)  
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     G+WCE*  
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    某一位置的Talbot图样  nyZ?m  
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     I.o3Old  
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    不同位置的Talbot图样 \5b<!Nl  
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    不同位置的Talbot图样 DvTbt?i[  
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     T{ lm z<g  
    S;BMM8U  
    沿Z轴的强度 {XW>3 "  
    FWo`oJeN  
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    走进VirtualLab Fusion t5QGXj  
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     构建光栅结构 l4OPzNc'  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] mW)"~sA  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] ~5Rh7   
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    - 参数运行文件的使用 [用例] .\)p3pC)  
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    VirtualLab Fusion技术 _xdttO^N  
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