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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 10-20
    摘要 n|Pr/ddL   
     2R]&v;A  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 p~K9 B-D  
    vv6?V#{  
     f/,tgA  
    Ur^j$B}  
    建模任务 -T7xK/  
    TI=h_%mO  
     1~J5uB4  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) 3o*FPO7?  
     H6gU?9%  
    某一位置的Talbot图样 I^D0<lHl~  
    RsW9:*R  
     BYi)j6"  
       p~2UUm V  
    某一位置的Talbot图样 $+cAg >  
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     C9qJP^F  
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    不同位置的Talbot图样 ,`32!i  
    DdSSd@,x*  
     JqCc;Cbd  
    fTq C:r|st  
    不同位置的Talbot图样 ]u#JuX  
    S:q$?$  
     F2 ~%zNe  
    cX:HD+wO  
    沿Z轴的强度 at6149B\)  
    99=s4*xzM  
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    ~9=aT1S|  
    走进VirtualLab Fusion zP!J/}z  
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     b.F^vv"]]  
    G^wtE90  
    VirtualLab Fusion的工作流程 ~ttY(w CV  
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     构建光栅结构 >^$2f&z  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] TeQNFo^_8  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] ~]'pY  
    iWLa>z|,  
     通过参数运行计算不同位置的强度 la <npX  
    - 参数运行文件的使用 [用例] \}_Yd8  
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    ]"~51HQZ  
    8FkFM^\1L  
    VirtualLab Fusion技术 @kFu*"  
    hWo=;#B*  
     Z5(enTy-  
     
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