切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 《杂散光抑制与评估技术》 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 光学设计与光学元件
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 现代光学设计及应用(Zemax) CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 305阅读
    • 0回复

    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    6854
    光币
    28420
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-10-20
    摘要 ;tO(,^  
     rc"yEI-``"  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 x@yF|8  
    gqE{  
     d bw`E"g  
    Hc71 .rqS  
    建模任务 JHcC}+H[  
    b1-JnEc  
     I_Q'+d  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) ^XV$J-  
     "!2Fy-Y  
    某一位置的Talbot图样 Xr-eDUEi  
    h/d&P  
     J*.qiUAgW  
       t<rhrW75P  
    某一位置的Talbot图样 f5AK@]4G  
    )]'?yS"  
     n(&6 E3ZcI  
    #,Rmu  
    不同位置的Talbot图样 :WE(1!P@  
    !RV}dhI  
     A>Js`s  
    jlItPd C v  
    不同位置的Talbot图样 0EOpK%{  
    ]w({5i  
     OPar"z^EV  
    \59+JLmP4  
    沿Z轴的强度 G0^NkH,k  
    k/Z}nz   
     .Um.dXBYU  
    88G Q  F  
    走进VirtualLab Fusion F4@``20|  
    XDU&Z2A  
     `8EHhN;  
    K_(o D O  
    VirtualLab Fusion的工作流程 jT%k{"+>+?  
    x,pzX(  
     构建光栅结构 ;kY'DKL(  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] j*xxOwf  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] vn7<>k> dx  
    Zj%l (OVq  
     通过参数运行计算不同位置的强度 zmF_-Q`c  
    - 参数运行文件的使用 [用例] w`q):yXX  
    ki48]#p  
    zrri&QDF<  
    4 @ )|N'  
    VirtualLab Fusion技术 /aP4'U8ov  
    crG+BFi  
     #}3$n/  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表