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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-10-20
    摘要  F"FGPk  
     >'iXwe-  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 u27K 0}  
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    建模任务 .:A9*,  
    y!&6"l$K]  
     PN:/lIO  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) wa-#C,R\_#  
     Hphvsre<  
    某一位置的Talbot图样 %ZF47P%6  
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    某一位置的Talbot图样 Clr~:2g\  
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    不同位置的Talbot图样 _^]2??V  
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    不同位置的Talbot图样 i eQQ{iGJH  
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    沿Z轴的强度 @px2/x  
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    走进VirtualLab Fusion l&#&}3M  
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    VirtualLab Fusion的工作流程 ]yI~S(  
    M9so3L<N0  
     构建光栅结构 UP]X,H~stU  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] F|9:$Jpw!  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] v d A 3  
    12r]"?@|s  
     通过参数运行计算不同位置的强度 $p? gai{o  
    - 参数运行文件的使用 [用例] 21ng94mC  
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    En-BT0o  
    VirtualLab Fusion技术 4 :m/w!q$  
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