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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 11小时前
    摘要 /.| A  
     'd2qa`H'}B  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 ?x5wS$^q<  
    #LN5&i;s  
     )y%jLiQv  
    jIx8k8  
    建模任务 RVgPH<1X@e  
    "W &:j:o  
     $S6HZG:N  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) LC,*H0  
     L(WL,xnBy  
    某一位置的Talbot图样 d}{LM!s  
    Z>(r9 R3{  
     C%}]"0Q1  
       kCaO\#ta  
    某一位置的Talbot图样 | ((1V^  
    D00G1:Ft(T  
     h`wMi}q'D  
    HE#,(;1i  
    不同位置的Talbot图样  G"o!}  
    prNhn:j  
     Vq3gceo'0A  
    b]!9eV$  
    不同位置的Talbot图样 doP$N3Zm  
    Ds%9cp*6  
     o!aLZ3#X  
    $& cz$jyY  
    沿Z轴的强度 k: b/Gq`  
    bA}AD`5  
     v8ba~  
    21r= = H$  
    走进VirtualLab Fusion , N53Iic  
    |u@+`4o  
     *IC^IC:  
    O0^?f/&k  
    VirtualLab Fusion的工作流程 rh@r\ H@j  
    `E@kFJ(<On  
     构建光栅结构 \gLxC  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] t/}L36@+  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] B[r<m J  
    geksjVwPH  
     通过参数运行计算不同位置的强度 nqT>qS[Z  
    - 参数运行文件的使用 [用例] eP"`,<  
    |6aJwe+*  
    2d*_Qq1  
    4'',6KJ@  
    VirtualLab Fusion技术 $.pTB(tO  
    @Mm/C?#*O  
     av-#)E  
     
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