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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-10-20
    摘要 s7`2ky()kz  
     ?S)Pv53>}  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 EwfL.z  
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    建模任务 @ uL4'@Ej  
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     rb.:(d)T  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) ,[|i^  
     z9Y}[ pN  
    某一位置的Talbot图样 Y>i Qp/k:  
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    沿Z轴的强度 &K"qnng/y  
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    走进VirtualLab Fusion - [vH4~  
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     H1ox>sC  
    H3 |x  
    VirtualLab Fusion的工作流程 C/z0/mk  
    u$V@akk  
     构建光栅结构 mm`yu$9gbP  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] Hc-68]T  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] eBl B0P  
    ~hQTxLp  
     通过参数运行计算不同位置的强度 w"FBJULzn9  
    - 参数运行文件的使用 [用例] 'CjcFP  
    HqKD]1  
    \ci[<CP  
    UNescZ  
    VirtualLab Fusion技术 ^s3SzB@  
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