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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-10-20
    摘要 k 8C[fRev  
     g"Eg=CU  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 3#{{+5G  
    W'3&\}  
     BoJYP  
    < r6e23  
    建模任务 dKs^Dq  
    -Wp69DP6q  
     S,9}p 1  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) ikr|P&e#u  
     dQ&S&SW  
    某一位置的Talbot图样 H3$~S '  
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     gmU_# J%~  
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    某一位置的Talbot图样 :lF[k`S T  
    -8sm^A>C  
     >Oary  
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    不同位置的Talbot图样 [@SLt$9"  
    XkB^.[B  
     m7zx,bz>  
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    不同位置的Talbot图样 4>q^W$  
    L@ ,-V  
     G8c 8`~t  
    s[ {L.9Y  
    沿Z轴的强度 DU_38tz  
    p&B c<+3e  
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    走进VirtualLab Fusion 5gZEcJ  
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    nWTo$*>W  
    VirtualLab Fusion的工作流程 #St=%!  
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     构建光栅结构 ,vfi]_PK  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] it=4cHT  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] mL\j^q,Y  
    Y{].%xM5  
     通过参数运行计算不同位置的强度 ]=2wQ8  
    - 参数运行文件的使用 [用例] GCN(  
    H*#L~!]  
     Vf:w.G A  
    Of)EBa<5^  
    VirtualLab Fusion技术 //c<p  
    !PN;XZ~{  
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