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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-10-20
    摘要 k 8C[fRev  
    g"Eg=CU  
    在传统的Talbot光刻中,在光敏层中仅使用一个图像,但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中,遵循I.-H. Lee等人的工作,通过傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像,柱状图位于主像面上,孔状图位于次像面上。 3#{{+5G  
    W'3&\}  
    BoJYP  
    < r6e23  
    建模任务 dKs^Dq  
    -Wp69DP6q  
    S,9}p 1  
    结构材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) ikr|P&e#u  
    dQ&S&SW  
    某一位置的Talbot图样 H3$~S '  
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    gmU_# J%~  
       + 9vd(c  
    某一位置的Talbot图样 :lF[k`S T  
    -8sm^A>C  
    >Oary  
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    不同位置的Talbot图样 [@SLt$9"  
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    m7zx,bz>  
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    不同位置的Talbot图样 4>q^W$  
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    G8c 8`~t  
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    沿Z轴的强度 DU_38tz  
    p&B c<+3e  
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    走进VirtualLab Fusion 5gZEcJ  
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     构建光栅结构 ,vfi]_PK  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] it=4cHT  
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