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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-10-20
    摘要 "_(o% \"7  
     QQ?` 1W  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 ou(9Qf zN  
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    建模任务 a-YK*  
    +J^}"dG  
     >i0FGmxH  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) 0nl)0|?Az  
     3wr~P  
    某一位置的Talbot图样 aMHIOA%Kh  
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    某一位置的Talbot图样 Xu'u"amt  
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    不同位置的Talbot图样 r` 3)sc  
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    不同位置的Talbot图样 +)V6"XY-(  
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    沿Z轴的强度 Pajr`gU  
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    走进VirtualLab Fusion -nU_eDy  
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    on(W^ocnD  
    VirtualLab Fusion的工作流程 W58 \V  
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     构建光栅结构 ~=c#Ff =Z  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] 9J1&g(?>-  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] ^beW*O!  
    |_ ;-~bmb  
     通过参数运行计算不同位置的强度 )\s:.<?EQ  
    - 参数运行文件的使用 [用例] ]{;K|rCR-  
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    VirtualLab Fusion技术 9aXm}  
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     b9:E0/6   
     
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