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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-10-20
    摘要 `#B|l+baq  
     N*w/\|  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 ;rWgt!l  
    p%~#~5t,  
     s@sRdoTdF  
    xlG/$`Ab  
    建模任务 l<qK' P4  
    {#N](yUm  
     6}"P m  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) XL>v$7`#  
     9X&Xc  
    某一位置的Talbot图样 xWlj.Tjt}  
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    某一位置的Talbot图样 X[b=25Ct  
    E>f+E8?  
     j#d=V@=a  
    vcs=!Ace  
    不同位置的Talbot图样 GlYNC&,VL  
    x>vC;E${"  
     t98t&YUpm  
    ei)ljvvmHP  
    不同位置的Talbot图样 v'uWmL7C  
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     Xdj` $/RI  
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    沿Z轴的强度 n{JBC%^g  
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    走进VirtualLab Fusion x`K<z J   
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     p`:hY`P  
    h^R EBPe  
    VirtualLab Fusion的工作流程 - &u]B$  
    mne4uW  
     构建光栅结构 S0( ).2#  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] U_ n1QU  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] 9r.Os  
    }&A!h  
     通过参数运行计算不同位置的强度 9}^nozR,I  
    - 参数运行文件的使用 [用例] Rd~-.&   
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    Vm}OrFA  
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    VirtualLab Fusion技术 pEgQ) 9\  
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