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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-10-20
    摘要 N%k6*FBp~  
     |ZAR!u&0  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 [%alnY  
    -<[MM2Y  
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    6{ql.2 Fa  
    建模任务 qBKRm0<W  
    x9s 7:F  
     ]b"Oy}ARW  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) /7 CF f&4  
     NYoh6AR  
    某一位置的Talbot图样 5*ip}wA  
    PtUea  
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    某一位置的Talbot图样 !y&uK&1  
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    不同位置的Talbot图样 s[ ze8:  
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    不同位置的Talbot图样 eD4qh4|u.  
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    沿Z轴的强度 o=t@83Fh5  
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    走进VirtualLab Fusion cjf 8N:4N0  
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    VirtualLab Fusion的工作流程  I~'%  
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     构建光栅结构 s$cr|p;7#  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] }e7os0;s  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] #DBg8  
    q#{.8H-X'  
     通过参数运行计算不同位置的强度 'pCZx9 *c  
    - 参数运行文件的使用 [用例] )w?DB@Tx  
    ! :[`>=!  
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    'jw?XtG  
    VirtualLab Fusion技术 y9K U&L2  
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