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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-10-20
    摘要 \*yH33B9  
     U-+o6XX  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。  KEPNe(H  
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     6K Cv  
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    建模任务  /dI8o  
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    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) zy'e|92aO  
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    某一位置的Talbot图样 xTnFJ$RK2  
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    某一位置的Talbot图样 V*6o|#  
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    不同位置的Talbot图样 @6"+x  
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    不同位置的Talbot图样 x1`4hB  
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    沿Z轴的强度 {[ pzqzL6  
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    走进VirtualLab Fusion .k -!/^  
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    VirtualLab Fusion的工作流程 lJ Jn@A  
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     构建光栅结构 I ]ZksC  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] X=@bzL;eq  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] PO nF_FC  
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     通过参数运行计算不同位置的强度 LGh#  
    - 参数运行文件的使用 [用例] ;$vVYC  
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    VirtualLab Fusion技术 6 \?GY  
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