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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 10-20
    摘要 KV91)U  
     F k7?xc  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 ZT*ydln  
    =<C: d  
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    v4<nI;Ux  
    建模任务 e v}S+!|U  
    'B$yo]  
     |*Yr<zt  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) 6dQ-HI*Y#  
     7jrt7[{  
    某一位置的Talbot图样  l03B=$  
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    不同位置的Talbot图样 _~m5^Q&  
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    沿Z轴的强度 iO{hA  
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     ^S<Y>Nm]  
    p>,|50|  
    走进VirtualLab Fusion ZmqKQO  
    Wb,KjtX  
     7O2/z:$f  
    uh_RGM&  
    VirtualLab Fusion的工作流程 O^PKn_OJ  
    J-:.FKf\5l  
     构建光栅结构 R+:yVi[F]U  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] 2>9C-VL2  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] ;]puq  
    J( TkXNm  
     通过参数运行计算不同位置的强度 wo}H'Q}Hj  
    - 参数运行文件的使用 [用例] hW' )Sp  
    h f)?1z4  
    CT@ jZtg0  
    yu {d! {6  
    VirtualLab Fusion技术 X #dmo/L8  
    M7\szv\Zc=  
     TprTWod2]t  
     
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