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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-10-20
    摘要 ;>QED  
     GenkYtS  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 1@q~(1-o  
    u 'DM?mV:-  
     >8_#L2@  
    lTJ1]7)  
    建模任务 xB_F?d40T5  
    W.iL!x.B@  
     06"p ^#  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) AVVL]9b_2  
     DnvJx!#R  
    某一位置的Talbot图样 ZZOBMF7  
    ;F9<Yv  
     |7n&I`#  
       J\<7M8   
    某一位置的Talbot图样 Ug_5INK  
    ^'.=&@i-  
     \?c0XD  
    ?jbE3fW  
    不同位置的Talbot图样 n)uvN  
    pW7vY)hj  
     0JQy-hpF  
    XIh2Y\33ys  
    不同位置的Talbot图样 LWHP31{R  
    nkTH#WTfR  
     +]uW|owxo  
    hO(8v&ns3  
    沿Z轴的强度 Hy5_iYP5  
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    ,X(P/x{B  
    走进VirtualLab Fusion 5QB] 2c^  
    4[a?. .X  
     wLC!vX.S  
    Os^sOOSY  
    VirtualLab Fusion的工作流程 9;2PoW8  
    V2sWcV?  
     构建光栅结构 ' Bb]< L`  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] J2Y-D'*s  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] "r @RDw   
    ";}Lf1M9  
     通过参数运行计算不同位置的强度 dl;~-'0  
    - 参数运行文件的使用 [用例] .o91^jt  
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    q9.)p  
    VirtualLab Fusion技术 v ~.X  
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